이영희 성균관대 교수, 금속 탄소나노튜브 반도체 탄소나노 튜브로 변환기술 개발 이영희 성균관대 물리학과 교수팀은 과기부 21세기 프런티어연구개발사업인 테라급나노소자개발사업단 과제로 금속 탄소나노튜브를 반도체 탄소나노튜브로 변환시켜 상온에서 작동하는 탄소나노튜브 트랜지스터를 구현하는 데 성공했다고 밝혔다. 이번에 개발한 기술은 탄소나노튜브의 벽을 수소원자로 기능화해 탄소나노튜브의 전자구조를 변환시킨 것이다. 이 기술은 탄소나노튜브의 종류에 관계없이 모든 탄소나노튜브를 반도체 탄소나노튜브로 변환할 수 있다. 지금까지는 반도체 탄소나노튜브만을 선택적으로 합성하거나 합성 후 선택적으로 반도체 탄소나노튜브만 골라내는 방법이 없어 탄소나노튜브를 나노트랜지스터나 고집적 메모리에 적용하는 데 걸림돌이 돼왔다. 이런 문제점을 해결한 이 기술은 트랜지스터나 메모리를 집적화하는 공정 중 손쉽게 수소원자로 탄소나노튜브를 기능화할 수 있는 것이 특징이다. 또 밴드갭을 1eV 이상 올릴 수 있어 상온 또는 고온에서 작동하는 소자 제작이 가능해짐으로써 탄소나노튜브 반도체소자의 실용화를 앞당길 수 있게 됐다고 연구팀은 설명했다. 이 기술은 테라급 반도체 메모리 등의 차세대 반도체에 적용할 수 있어 새로운 나노소자시장 창출과 기존 메모리시장의 대체가 예상되고 있다.