‘모바일 혁신’이 ‘반도체 장비의 혁신’ 부른다

국내 최대 반도체 업체들 만나볼 수 있는 ‘세미콘코리아 2014’

세미콘코리아 2014(SEMICON Korea 2014 이하 세미콘)는 반도체 장비재료 전문 전시이기 이전에 올해 들어 열린 가장 큰 규모의 산업전문 전시회였다. 작년 하반기부터 수급 불균형으로 반도체 가격이 회복세를 보이는 가운데, 안정화되는 시장상황 덕에 올해 전시장은 유난히 활기를 띄었다.
반도체 공정 장비 및 부품, 패키징, 로봇, 크린룸, 소모품과 관련된 전시품과 기술을 통해 전시장 내에서 반도체 생산기술 흐름을 한눈에 확인 할 수 있었다. 반도체 분야에서 실질적인 비즈니스 창출을 위한 기회의 장으로 이미 자리매김한 전시인 만큼, 세라믹 관련 수요기업들이 대거 참여했다. 파인세라믹스를 아이템으로 하는 업체라면 비즈니스에 더할 나위 없이 좋은 곳임은 틀림없다.

백진기자 baekjin24@naver.com

국내 최대, 역대 최대로 치러진 세미콘코리아2014
반도체 공정기술의 새로운 혁신, 최신 기술, 그리고 미래는 어떻게 그려볼 수 있을까. 그 구체적인 모습을 엿볼 수 있는 국내 최대 규모의 반도체 제조기술전시회인 세미콘이 지난달 12일부터 사흘간 서울 코엑스에서 개최됐다. 27회를 맞이한 이번 전시는 ‘모바일 혁신’을 주제로 퀄컴의 로웬 첸 박사의 기조연설로 시작됐다.
그는 마이크로전자 제조공정 솔루션을 비롯한 최신 공정기술, 장비, 재료 등을 선보이며 반도체산업의 현황과 전망을 제시했다.
올해 전시엔 약 20개국 530개 업체가 참여해 역대 최대인 1,737개 부스가 설치됐으며, 관람객과 해외 바이어들의 방문수도 약 4만 5천여 명에 달했다. 업계 선두를 달리는 국내 반도체 제조사와 외국 기업들이 신 공장 준설이나 확장을 계획 중에 있어 구매상담에 대한 참가한 장비재료 업체들의 기대감도 컸다.
전시에 앞서 시스템 반도체 시장에 뛰어들겠다고 선언한 SK하이닉스 박성욱 대표는 “시스템 반도체에 대해 준비하고 있는 단계”라며 “시스템 반도체 분야가 다양하고 복잡해 사업화를 위해서는 방향을 먼저 확실히 잡아야 한다”고 말했다. 박 사장은 이날 전시장에서 주성엔지니어링, 원익, 성도ENG, KC테크, PSK Inc 등 국내 주요 장비 업체 부스를 방문해 각 사장들과 만남을 가졌다.
한편 국내 최대 반도체 축제인 만큼 포럼과 심포지엄, 네트워킹 리셉션과 구매상담회 등 다양한 행사도 함께 마련됐다. 개막 전 열린 이그제큐티브 포럼(Executive Forum)에서는 ‘반도체 재료의 시대’를 주제로 IBM의 청 람 박사, 글로벌파운드리즈의 폴 베서 박사, EULV 기반개발센터의 이치로 모리 이사 그리고 에어프로덕츠 아시아의 에드워드 쇼버 상무가 연사로 나서 반도체산업에서의 재료 분야에 대한 글로벌 경영진들의 비전을 제시했다.

세계 최대 규모의 발광다이오드(LED) 생산기술 전시회
한편 동시에 열린 국내 유일의 LED 제조기술 전문 전시회 LED코리아 2014 (LED Korea 2014)도 세미콘과 동시개최로 많은 관람객들이 방문했다. 이틀에 걸쳐  ‘LED 코리아 컨퍼런스’를 별도로 기획, ‘스마트 LED 융합 애플리케이션’과 ‘고체조명(SSL)’을 주제로 산업 및 학계 전문가들의 발표가 이어졌다.
전시장에서는 신한다이아몬드, 삼정, 에이텍다이아몬드, QMC, 루멘스, 산요 등 80여개 LED관련 업체들이 첨단 LED공정기술, 장비솔루션, 신소재 등을 선보이며 주요 신기술 개발 및 비즈니스 기회를 공유했다.

기조연설중인 퀄컴(Qualcomm)사의 로웬 첸 박사

미코는 반도체 부품의 국산화에 주력하고 있다. 사진은 반도체 장비용 AIN세라믹 히터와 정전척 등 각종 부품들. 반도체 박막 공정에 쓰이는 세라믹 히터는 반도체 화학기상증착(LPCVD) 공정에서 온도 안정성을 유지하면서 웨이퍼를 고온으로 직접 가열하는 역할을 하는 핵심부품이다. 이 외에도 모회사인 코미코의 첨단기술력을 앞세운 정밀세정, 세라믹 특수코팅과 프로브카드기술도 선보였다.

토요탄소의 PERMA KOTE(MOCVD용 서셉터). 표면 SIC코팅으로 흑연 불순물 방출과 흡착, 흑연입자 발생을 방지할 수 있고 내식성과 내열성이 우수하다. 주로 반도체 분야와 내산화성 분야에서 사용된다.(왼쪽) 오른쪽은 단결정/다결정 실리콘 제조용 장비

이 외에도 진공흡착 원리를 이용해 자유자재로 웨이퍼들을 옮겨놓는 로봇장치,  반도체 장비용 대형 배터리제품들 뿐 아니라 소모품, 크린룸 관련 업체들도 여럿 볼 수 있었다.

원익QnC부스에 마련된 반도체 장비 부품들. 짙은 색의 질화물계 세라믹 부품들은 내열충격성과 고온에서의 기계적 강도가 뛰어나다. 핀-척, 열처리용 지그 등 혹독한 환경에서 사용된다. 하얀 부품들은 지르코니아를 소재로 했다. 모두 반도체 공정용 장비에 쓰인다.