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실리콘 28을 99.4%로 농축, 반도체 재료고성능화 동위체 분리법을 개발
  • 편집부
  • 등록 2003-07-14 20:45:10
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일본원자력연구소의 원자분자과학연구팀은 힐리서치(東京都 港區)와 뉴클리어 디벨로프먼트(茨城縣 東海村)의 협력으로 반도체의 고성능 재료가 되는 실리콘 28을 99.4%로 농축하는 동위체 분리법의 개발에 성공했다고 발표했다. 천연 실리콘에는 질량수가 다른 3 개의 동위체(질량수가 28, 29, 30인 3 종류)가 각각 92.2%, 4.7%, 3.1%의 비율로 공존하고 있다. 이 실리콘 28을 적외 레이저광을 사용하여 99.4%까지 농축함과 동시에 동 29와 동 30도 회수하는데 성공했다. 실리콘은 공존하는 동위체를 제거하고 실리콘 28의 단결정으로 만들면 열전도성이 60%나 향상된다고 하며, 고집적화에 따라 발생하는 열의 효율적인 제거를 가능케 한다. 실리콘 반도체의 벽을 파괴하는 혁신적인 기술로 주목된다. 동시에 이 분리, 농축기술은 의료분야에서 유망한 산소나 탄소의 동위체 분리기술에도 활용이 가능하다. 분자는 구성하는 원자의 동위체 질량의 차이로 고유의 진동수를 갖는다. 이 진동수의 차이를 활용하여 특정한 동위원소만을 꺼내는 것이 이번의 기술. 구체적으로는 천연실리콘을 불화하여 기체의 6불화 2규소로 만든다. 이 6불화 2규소는 실리콘의 동위체이기 때문에 6종류의 분자가 공존한다. 그러나 2종류의 적외 레이저광을 조사하면, 이 가운데 실리콘 29와 동 30을 포함한 5종류의 동위체가 여기, 더욱 분해하여 중합 폴리머가 된다. 조사 후의 6불화 2규소 기체에는 실리콘 28이 남게 되어 농축된다. 原硏에서는 1파장의 적외 레이저광을 조사할 경우에 비해 분리 비율이 10배로 강력해져, 앞으로 연속적으로 기체인 6불화 2규소를 흘려 넣으면서 동위체의 분리를 실시, 대량 농축법으로서 기술을 확립시킬 계획. 성공하면 IT의 요점인 실리콘 반도체에 새로운 혁신을 초래, 산업구조에 변화를 줄 것이라고 한다. (NK)

 

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