본 발명은 고농도 희토류 함유 유리를 실리카의 음각부분에 증착시켜 신호광의 고이득 증폭전송할 수 있는 유리 스퍼터링을 이용한 평면도파로형 광증폭기의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 유리 스퍼터링을 이용한 평면도파로형 광증폭기의 제조방법은 실리콘 기판상에 실리카 클래드층을 형성하는 단계, 상기 실리카 클래드층을 음각식각하는 단계, 음각식각 된 실리카 클래드층상에 희토류 함유 유리막을 증착하는 단계 및 상기 희토류 함유 유리막상에 상부 클래드층을 형성하는 단계를 포함한다.