글로벌 초격차 반도체 강국을 위한 지원시설 착공

- 경기도 이천, 한국세라믹기술원 이천분원에 인프라 구축 시작
- 건축 88억 및 첨단장비 구축 282억, 총 370억 원 투입
- 반도체공정 세라믹 소재·부품 산업의 핵심 전초기지 역할 수행

(왼쪽 5번째부터) 정연길 세기원 원장, 엄태준 이천시장, 송석준 국회의원 등 내빈들이 착공 시삽식에서 화이팅 모습. (자료제공: KICET)

한국세라믹기술원(원장 정연길)은 반도체 소재·부품·장비 산업을 육성하고 고부가가치 제품개발을 위하여 산업통상자원부·경기도·이천시의 지원을 받아 한국세라믹기술원 이천분원 내에       ‘이천시 세라믹종합솔루션센터’착공식을 3월 24일 개최했다고 밝혔다.
이날 착공식에는 엄태준 이천시장, 송석준 국회의원, 정연길 한국세라믹기술원장 등 관계자 20여 명이 참석했다.
  이천시 세라믹종합솔루션센터 구축 예산은 총 370억 원으로 건축에 88억 원(도비 25억 원, 시비 45억 원, 시유지 18억 원), 첨단장비 구축에 282억 원이 투입되며, 연면적 2,127㎡의 지하 1층, 지상 2층 규모로 23년 2월 말에 준공될 예정이다.

<반도체공정 세라믹 지원품목>

반도체용 히터·정전척 - 반도체 증착·식각 공정에 쓰이는 핵심 부품으로 반도체 고정 및 열전달 기능을 구현
프로브카드 - 반도체 칩 성능검사에 쓰이는 핵심 부품으로 반도체 성능의 계측 기능을 구현
EUV 블랭크마스크 - 5nm이하 초미세반도체용 회로원판의 부품으로 EUV(극자외선) 패턴 노광을 구현
산화알루미늄분말 - 반도체용 세라믹 소재 원료로 고성능 반도체 소재 특성을 구현

  센터에는 수입의존도가 높은 반도체 소재·부품인 정전척·히터, 프로브카드, EUV 블랭크마스크 등을 국산화하기 위한 장비와 초미세 반도체 공정 및 칩의 성능평가에 필요한 첨단장비가 구축된다.
  센터는 반도체 제조공정에 필요한 세라믹 소재·부품 산업의 핵심 전초기지의 역할을 할 예정이다. 기업·대학·공공연구소 등 외부기관과 유기적인 협력체계를 구축하고 반도체산업에 필요한 세라믹 소재·부품의 아이디어부터 시제품 생산, 시험분석·평가, 상품화까지 One-Stop 기업지원을 중심으로 운영된다. 이를 위해, 양산화 시설 및 평가지원을 위하여 클린룸, 가공실, 배치실, 공용로실, 측정실 등의 시설이 구축되며, 시생산과 평가에 필요한 펨토초 레이저펀처, EUV용 이온빔증착장치 등 31종의 첨단 장비가 구축되어 반도체 소재·부품·장비 관련 기업의 기술 개발 및 기업지원 업무를 수행하게 된다.
  이천시 세라믹종합솔루션센터가 완공되면 관련 기업의 첨단장비 이용이 용이해지기 때문에 기업의 연구개발 및 상용화 기술력 제고를 통한 한국 반도체 소재·부품·장비 산업경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대된다.
  한국세라믹기술원 정연길 원장은 “이천시 세라믹종합솔루션센터는 한국 반도체 소재·부품·장비 산업의 혁신을 지원하며, 첨단기술의 개발과 확산을 통하여 지속가능한 성장을 담보하는 출발점이 되리라고 확신한다”고 말했다.
  한편, 국내 유일의 세라믹 분야 종합연구기관인 한국세라믹기술원은 산업통상자원부 산하의 기관으로 세라믹 분야 연구개발, 시험·분석, 기술지원, 정책지원 등을 수행하며 국내 세라믹 산업의 경쟁력 강화에 기여하고 있다.

세라믹종합솔루션센터 조감 및 투시도. (자료제공: KICET)