수십나노미터급 반도체 소자용 절연체 박막의 원소분포를 분석할 수 있는 기술이 세계 최초로 국내 연구진에 의해 개발됐다. 한국기초과학지원연구원 조채룡 박사팀은 액체운반 금속화학기상 증착(LD-MOCVD)법을 이용, 코발트(Co)가 첨가된 이산화티타늄(TiO2) 박막의 열처리 전후에 대한 원소의 2차원 분포를 세계 처음으로 매핑하는데 성공했다. 기관고유사업과 학술진흥재단의 지원을 받아 수행된 이 원소분포분석법은 최근 반도체 분야에서 관심을 끌고 있는 묽은 자성계(DMS) 소재의 표면 원소 분포를 20㎚이하의 분해능을 가진 2차원 분포로 나타낼 수 있다. 이 분석법은 도핑 수준의 원소량 측정이 가능하고 특정 위치나 나노 두께의 정보를 파악할 수 있어 산화물 신소재 박막 및 나노 크기의 표면 특성분석 연구에 획기적인 전환점을 마련하는데 큰 역할을 할 것으로 기대된다. 연구진은 현재 에칭을 통한 3차원 매핑 실험을 진행 중이다.