전력중앙연구소는 내열성을 종래의 4배로 높인 반도체 소자를 개발했다. 변전소나 전철 제어용 반도체 등에 사용한다. 탄화규소는 내열성이 높아 고온조건에서 사용하는 반도체 소자의 재료로 기대되고 있다. 소자로 만들려면 독자개발한 전용 반응로를 사용하여 재료를 막 상태로 할 필요가 있다. 종래의 로에서는 온도를 일정하게 유지할 수 없기 때문에 막에 무수한 작은 구멍이 생겨버려 반도체 소자의 재료로 쓸 수가 없었다. 電中硏은 로의 단열재로 고순도 흑연을 채용. 몇 도 단위의 온도관리를 가능케 하여 구멍이 적은 탄화규소 웨하를 제조하는데 성공했다. 또 웨하가 생기는 속도를 종래의 10배 정도인 1 시간당 20㎛으로 하여 생산효율을 높였다. 전류를 교류에서 직류로 교환하는 장치에 사용하는 반도체 소자 등은 막 상태로 가공한 실리콘으로 제조하는 것이 일반적. 단지 실리콘은 내열성이 낮아 변전소 등에서 사용할 경우에는 냉각설비로 식힐 필요가 있었다. 탄화규소는 500℃ 정도로 가열해도 반도체로서의 성능을 발휘한다. 냉각장치가 불필요하다는 점 등에서 전체 원가를 대폭 압축할 수 있다고 한다. 앞으로 電中硏은 전기메이커나 자동차 메이터 등과 공동연구를 추진할 계획이다. (CJ)