SiC 연구개발·양산시설구축에 1백억원 투자, LP-CVD공정에 이용되는 튜브·보트 제품 생산 제조단가 일본업체의 2/3수준 가격경쟁력 확보, 국내외시장 본격 공략 계획 반도체ㆍLCD용 세라믹 소재, 부품전문업체인 에스엔티(주)(대표이사 이재홍 www.snt.co.kr)가 반도체용 SiC 제품을 개발하고 오는 2004년 1월부터 본격 양산에 들어갈 계획이다. 이 회사는 반도체용 SiC 제품 개발과 양산시설을 구축하는데 약 1백억원을 투자했다고 밝혔다. 이 회사에서 개발, 생산할 SiC 제품은 LP-CVD공정에 이용되는 SiC 튜브와 보트 제품으로, 기존의 실리콘이나 석영소재에 비해 열전도성과 내식성, 내화학성이 좋고 열팽창률이 낮아 장시간 사용시에도 파손의 우려가 적은 제품이다. SiC 제품의 크기는 300mm웨이퍼의 열처리가 가능한 반응관을 최대의 크기로 하고 있으며 Si 함유량이 18%, 밀도는 3.00g/㎤, 굽힘강도 200Mpa, Fe 함유량은 1ppm이하의 특성을 목표로 한다. 반응소결 SiC 시장 연평균 40%이상 고성장 전망 에스엔티에 따르면 반응소결 SiC 시장은 연평균 40%이상의 고성장을 거듭하고 있으며 세계 시장규모는 월 70~80억원 수준에 이르고 있다. 이중 일본의 도시바세라믹스사와 아사히글라스사가 85%이상을 차지하고 있는 것으로 나타나고 있다. 국내시장은 전 세계 시장의 10%정도를 차지하며 반도체 보트, 튜브제품 이외에 12인치용 쿼츠, Si Ring, Si 전극까지 상당부분의 치공구 제품들이 SiC 제품으로 대체될 것으로 전망되고 있다. 그 동안 국내 반도체 업체들은 대부분 일본 제품을 수입해서 사용하고 있다고 한다. 따라서 이번 에스엔티의 SiC 제품의 개발과 양산으로 수입대체가 가능할 것으로 기대되고 있다. 특히 에스엔티의 경우 일본업체들보다 제조단가를 3분의 2수준으로 낮추어 가격경쟁력을 확보했다고 밝히고 있다. 에스엔티에서는 앞으로 매년 20%이상 매출이 증가하여 2006년까지 SiC분야에서 88억원의 매출을 기대하고 있다. 또한 지속적인 품질관리를 위해 불순물분석장비(ICP)를 도입하여 자체 제품에 대한 품질 분석후 CVD코팅을 할 수 있는 양산체제를 마련했다. 현재 이 회사에서는 국내 굴지의 반도체업체와 샘플테스트를 진행중이며 납품이 결정되면 다른 반도체 업체들에도 공급할 계획이다. 경쟁업체인 도시바, 아사히글라스 등은 한국시장보다는 세계시장을 타겟으로 하기 때문에 에스엔티는 고가의 SiC 제조단가를 낮춤으로서 국내 시장점유율을 높일 수 있을 것으로 보고 있다. 또한 해외 현지법인인 SNT-JAPAN과 SNT-USA를 통해 해외수출을 강화하고 SNT-TAIWAN의 영업력을 바탕으로 중국과 대만 반도체 업체들의 신규라인에 대한 매출 창출도 기대하고 있다. 한편 이 회사의 기술연구소에서는 “SiC 제품의 핵심기술인 제품의 고순도화 기술과 Si의 균일함침 기술, 복잡한 형태 제조시 접합기술, Si함침을 위한 지그 제조기술 등의 자체 개발을 완료했고 성형과 가공을 위한 CIP, 각종 가공설비를 확보했으며 제품 제조에 필요한 각종 설비를 자체 개발하고 설치를 완료했다.”고 밝혔다. 朴美善 기자