知慧의 輪(靜岡縣 浜松市 대표 夏井健)은 검출부가 석영유리로 된 초음파식 액면검출센서를 완성, 발매했다. 높은 내식성이 특징인 접액식 센서로 반도체의 제조·세정장치에 부착하는 것. 금속제 발광소자 등을 검출부에 사용하지 않아 금속이온의 악영향도 없다고 한다. 액면의 분해능은 0.2밀리미터, 출력은 4~20밀리암페어이다. 검출부의 길이는 최장 600밀리미터까지 대응한다. 제어장치와 세트로 가격은 25만엔부터이다. 검출부가 되는 석영유리 막대의 끝부분에서 발신된 초음파가 반대쪽 끝을 향해 막대 표면을 따라 전달되었다가 다시 돌아올 때까지의 시간차로 액면위를 검출한다. 유리 막대를 매개로 초음파가 전달되기 때문에 진공에서도 사용할 수 있다. 이 회사는 지금까지 불소수지로 값싼 광학식 액면검출센서를 상품화해 왔다. 그러나 발광소자 부품의 금속이온이 불소수지의 미세한 구멍을 통해서 밖으로 흘러나올 가능성이 있어 “반도체의 세정공정에서는 사용해도 제조공정에서는 사용할 수 없었다”(夏井대표)고 한다. (NK)