연세대 초미세 표면과학연구센터 염한웅 교수팀은 최근 실리콘 반도체 소자와 관련한 극박막 구성과 화학상태 등을 아주 정밀하게 측정할 수 있는 세계 최고 분해능(분석 정밀도) 수준의 광전자 분광설비를 개발했다고 밝혔다. 염 교수팀은 과학기술부 21세기 프런티어연구개발사업인 테라급나노소자개발사업단의 과제로 지난 4년간의 연구 끝에 개발한 이번 설비는 기존 전자 분광설비보다 분해능과 감도를 획기적으로 높일 수 있다고 설명했다. 실리콘 등 반도체 재료를 사용해 만들어지는 전자소자들은 복잡하고 다양한 박막구조로 구성되기 때문에 이 박막 재료들과 소자 제조공정을 연구하기 위해서는 박막의 상태와 공정 결과물에 대한 정밀한 분석이 필요하다. 이번에 선보인 분광설비는 이 같은 정밀 분석을 할 수 있는 것으로 수입품이나 아웃 소싱한 기존 장비보다 성능이 월등한 것으로 평가됐다고 연구팀은 밝혔다.