中部전력은 노리타케 컴퍼니리미티드와 공동으로 1㎚보다 작은 0.6㎚의 초미세공 세라믹스 필터를 개발했다. 지금까지 어려웠던 0.3㎚ 크기의 수소분자만을 꺼낼 수 있기 때문에 수소로 발전하는 연료전지의 개질기 등에 실용화를 기대할 수 있다. 나노레벨에서의 세라믹스 필터의 개발은 세계 최초라고 한다. 이 필터는 분리막, 지지체 등 2층 구조의 재질에 고내열, 고강도한 질화규소를 채용. 지금까지도 질화규소의 필터는 있었지만 구멍이 크고 균일하지 않아 수소의 분리가 제대로 이루어지지 않았다. 두 회사는 특수한 환원성 가스로 유기성분을 열분해함으로써 균일하고 초미세한 구멍을 가진 막을 만드는 방법을 개발했다. (CJ)