본 발명은 실리콘질화물/글래스 적층구조의 수소이온 감지막을 갖는 마이크로 pH센서를 개시한다. 본 발명은 실리콘기판, 실리콘기판의 상면에 형성되는 기준전극, 실리콘기판의 에칭부에 충진되는 완충용액 및 실리콘기판의 배면에 그 에칭부를 폐쇄하도록 부착되어 시험용액에 침지되는 유리전극을 구비하는 마이크로 pH 센서에 있어서, 수소이온 감지막인 유리전극의 표면을 덮도록 미세 두께의 실리콘질화물 박막층이 형성되어 구성된다. 실리콘질화물 박막층은 유리전극위에 CVD장치에 의해 1㎛두께로 증착된다. 본 발명은 실리콘질화물에 의해 시험용액의 OH 기에 의한 수화반응과 유리전극의 Na+ 이온의 소모가 최소화되어 센서의 수명을 크게 연장시킬 수 있음은 물론 안정적인 동작을 구현할 수 있게 되고, 이에 따라 센서의 제작공정 및 사용분야에서 보다 안정적인 사용이 가능하며 표준적인 CVD 공정을 이용하여 제작되므로 낮은 단가로 손쉽게 제작할 수 있어 공정의 효과도 기대할 수 있다.