"반도체의 미래는 사물인터넷(IoT)이다"
SEMICON KOREA 2015

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International, 국제반도체 장비재료협회)에서 주최하는 국내 최대규모의 반도체 제조기술 전시회인 ‘세미콘 코리아’가 올해 28회째를 맞이했다. 2월 4일부터 6일까지 코엑스에서 열린 이번 행사에는 세계 반도체 장비 재료산업을 선도하는 20개국 500여개 사가 참가했다.

기조연설로 본 2015 반도체 트랜드
‘SEMICON KOREA 2015’는 반도체 선두기업인 삼성전자, 인텔, CISCO 소속 연사들의 기조연설로 문을 열었다. 연사로 나선 삼성전자 정은승 부사장은 ‘상생협력을 통한 반도체 기술의 한계 돌파’라는 주제로 발표했다.
정은승 부사장은 “반도체 산업을 발전시켜 나가기 위해서는 다양한 아이디어가 필요하다”며 “아이디어를 가지고 있는 다양한 기업과 협력해야 반도체 산업을 지속적으로 발전시켜 나갈 수 있다”고 밝혔다.
사물인터넷(IoT)을 화두로 한 발표도 이어졌다. 인텔의 웬화왕 부사장과 CISCO의 마첵 크란츠 부사장은 각각 ‘Invent -ing a Better Future : Intelligence Everywhere’, ‘Internet of Everything : Turning Vision into Reality’을 주제로 사물인터넷 시대의 변화와 반도체의 역할에 관해 논했다.

1,800개 부스 설치, 반도체 산업 한눈에
코엑스 전관에서 열린 이번 세미콘 코리아에는 반도체 제조 산업분야 기업부스 1,800개가 설치되었다. 반도체 산업이 우리나라 대표 산업인 만큼, 세미콘 코리아 개장 첫날부터 관람객이 몰렸다.
SEMI에서 주관한 만큼 다국적 기업이 다수 참여해 전 세계 반도체 장비 재료 산업의 최신 기술 트렌드를 파악할 수 있다는 평이다. 반도체 산업에 활용할 수 있는 솔루션과 제품도 소개되었다.
메카트로닉 솔루션을 제공하는 스위스 스토브리그룹은 이번 전시회에서 고속 피커 ‘TP80 로봇’을 선보였다. 이 로봇은 모든 작업반경을 초고속 사이클 타임으로 운반가능하고, 반복 정도를 유지하면서도 동시에 날렵함과 민첩함을 잃지 않는다. 바닥 또는 벽 설치의 경우 크기가 크고 비용이 많이 발생했던 갠트리를 없애, 로봇 비용의 효율성을 높였다. TP80은 단일 제어기CS8 시리즈로 작동되며, 더불어 다양한 VAL 소프트웨어를 활용할 수 있어 Enduser 및 시스템 업체, OEM 회사, 기계 설계 업체 등, 다양한 사용자 및 애플리케이션에 활용될 수 있다.

Lift pin, Y2O3 Coating Ring, Y2O3 injector 등 다양한 파인세라믹 제품군을 선보였다.

국내 최초로 반도체용 고순도 쿼츠 잉곳을 개발, 양산한 ‘디에스 테크노’. 개발한 쿼츠 잉곳을 대대적으로 홍보했다.

‘TOKYO TANSO’의 다양한 탄소 제품들

반도체용 쿼츠부품가공 전문업체 디에스테크노는 국내 최초로 개발, 양산한 반도체용 고순도 쿼츠 잉곳을 선보였다. 이번에 개발한 반도체용 고순도 쿼츠 잉곳은 반도체 제조용 식각장비와 디퓨전 장비의 체임버 구성 등에 들어가는 쿼츠 부품 원소재다. 그동안 반도체용 고순도 퀘츠 잉곳은 미국 모멘티브, 일본 도소·신에쓰, 독일 큐실·헤라우스 등 일부 해외 기업이 시장을 장악하고 있어 이번 디에스테크노의 개발, 양산이 국내 반도체 산업에 큰 보탬이 될 거라 기대되고 있다.

반도체 세라믹소재·부품 전문기업 MiCo의 부스

새로운 반도체 미세공정 장비에 주목
이번 전시회에서 다수 기업이 20나노 이하 반도체 미세공정 시장을 겨냥한 장비·재료·부품을 선보여 주목받았다.
부품기업 BMT는 피팅 제품 ‘아이피팅’을 선보였다. 아이피팅은 별도 링을 장착해 공정 시공이 완벽하게 됐는지 확인할 수 있는 제품이다. 반도체 시장용으로 선보인 특수 배관 ‘울트라하이퓨리티(UHP)’제품군도 함께 선보였다.
반도체 장비 생산 전문업체인 ㈜유진테크는 수년간의 장비 개발을 통해 세계 최고 성능의 Cyclic CVD 장치인 ‘Phoenix™’ 제품을 신규 출시했다. 이 장비는 리소그라피 장치가 해결하지 못하는 부분에서의 획기적인 패터닝 기술에 부합하는 장치이며, 높은 수준의 박막 품질은 물론 이중화 된 총 8개 챔버에서 나오는 높은 생산성으로 인해 국내 주요 반도체 제조사로부터 관심을 받았다.
반도체 장비 및 시스템 전문업체인 원익IPS는 이번 전시에서 원자층증착장비(ALD)를 비롯해 플라즈마증착장비(PECVD) 등 신제품을 선보였다. 원익ISP는 올해 10나노급 미세 공정에서 ALD 장비 비중이 커질 것으로 보고 올해 이 시장을 확대하는 데 주력할 방침이다.
‘세미콘 코리아 2015’에는 전시회 외에 기술 포럼, 프레지던트 리셉션, 구매상담회 등 다양한 프로그램이 마련되었다. 주최측인 SEMI는 이번 전시에 3만 3천여명의 관람객이 다녀갔다고 전했다.

주학님기자 juhn28@naver.com