나노종합기술원, 12인치 반도체 테스트베드 공식서비스 개시

- 국내 반도체 소재부품 등 국산화 기술개발 본격 지원
- 소부장 기술자립화에 시간과 비용 획기적 절감 기대

과학기술정보통신부(장관 최기영, 이하 ‘과기정통부’)는 국내최초로 나노종합기술원(원장 이조원, 이하 ‘종기원’)에 12인치 반도체 테스트베드(이하 ‘12인치 테스트베드’) 구축을 완료하고, 3월 17일부터 국내 산·학·연 이용자에게 공식서비스를 본격 추진한다고 지난달 16일 밝혔다.
  반도체 생산용 소재.부품은 2019년 7월 일본의 수출규제에 따라 우리나라에 소재.부품.장비(이하 ‘소부장’) 기술자립화에 대한 경각심을 불러일으킨 대표품목이다. 일본 수출규제 이전에도 국내 반도체 소부장 기업들은 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어, 대기업 납품에 필요한 수준의 평가결과를 획득하는데 많은 애로가 있었다. 이에 대부분의 중소기업들은 많은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나, 종기원의 8인치 장비를 활용한 기초평가 수준에서 만족할 수밖에 없는 상황이었다.
  이러한 문제를 해결하기 위해 과기정통부는 2019년 8월 종기원을  반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정하고 국비 총 450억 원을 투자하여 핵심장비 10대 구축, 청정실과 장비안정화 작업을 신속히 추진하여 2021년 3월 17일부터 공식서비스를 개시하게 됐다.
  향후 국내 반도체 소부장 기업들은 종기원의 12인치 테스트베드를 활용하여 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 지원받을 수 있게 되어, 반도체분야 소부장 기술자립화에 소요되는 시간과 비용을 획기적으로 절감할 수 있게 됐다.
  이조원 종기원 원장은 “현재 12인치 테스트베드는 40nm 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 반도체 핵심소재(감광제 등)와 장비개발을 집중 지원할 예정이며, 향후 20nm급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획이다”라고 밝혔다.
  과기정통부 김봉수 기초원천연구정책관은 “반도체 산업은 국가 수출의 20%를 담당하는 핵심 주력산업으로, 대기업뿐만 아니라 다양한 소부장 중소기업들과 대학.출연연 연구자들이 협업하는 대규모 연구.산업 생태계를 갖추고 있는 분야”라며, “과기정통부는 앞으로 반도체 분야의 발전을 위해 기초.원천 연구지원과 병행하여, 수준 높은 인프라 지원을 위한 투자확대, 기능고도화 등의 노력을 지속적으로 추진하겠다”고 밝혔다.

그림 1. 40nm 패턴 형성 웨이퍼(자료제공: 나노종합기술원)

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