東京전기대학에서 시작된 벤처기업인 네프러스(東京·千代田, 사장 新津靖)은 적외선 레이저를 사용, 반도체 웨이퍼에 어느 정도의 힘이 가해졌는가를 측정하는 장치를 개발했다. 웨이퍼는 각 부분에 가해지는 힘이 균일하지 않으면 쉽게 파손된다. 반도체 메이커가 제조과정에서 결함제품을 찾아내는 등의 용도를 전망하고 있고, 9월을 목표로 수주판매를 시작한다. 개발한 것은 ‘반도체 웨이퍼 응력측정장치’ 웨이퍼에 힘을 가하면 한쪽 방향으로 소재가 늘어나기도 하고, 압축되는 등으로 인해 원자의 간격이 변화 투과성이 2중이 되는 ‘복굴절’이라고 하는 현상이 일어난다. 이 장치는 레이저를 쏘아서 웨이퍼 각 부분의 복굴절률을 해석, 힘이 가해지는 정도를 측정한다. 그 차가 클수록 파손의 우려가 높아진다. 측정대에 반도체 웨이퍼나 필름 등의 검체를 두고, 직경 0.5밀리미터의 적외선 레이저를 아래쪽에서 쏘아 복굴절률을 측정한다. 종래의 가시광선을 사용하는 방식에서는 유리나 플라스틱 등 투명한 물체만 측정할 수 있고, 반도체 웨이퍼 측정에는 대응할 수 없었다. 반도체 웨이퍼의 측정에는 전용 부품을 회로에 도금시켜서 데이터를 뽑거나 절단하는 방법도 있으나 거의 사용되지 않는다. 반사하지 않고 물체를 통과하는 적외선을 채용한 네프러스제 장치를 사용하면 그 상태 그대로 웨이퍼를 측정할 수 있다. 전용부품도 필요치 않아 제조 원가를 낮출 수 있다. 실험장치는 완성이 끝났으나 판매개시에 맞추어 반도체 메이커나 연구소용으로 더욱 소형화한다. 가격은 한 대 당 5천만 엔 전후를 예상. 현 시점에서는 네프러스에서 사업을 계획하고 있으나 별도의 회사화도 검토하고 있다. 네프러스는 東京전기대학 정보환경학부의 新津 교수가 2000년에 설립했다. (NK)