산업기술종합연구소의 선진제조 프로세스 연구부문은 新東브이세라믹스(愛知縣 豊川市, 사장 松浦卓也)와 공동으로 원심력을 이용한 소결기술을 사용하여, 세라믹스 막을 형성할 때에 발생하는 미세한 균열 등의 구조결함을 낮추는데 성공했다고 발표했다. 전자부품의 소형화, 집적화로 늘어가고 있는 후막 세라믹스와 금속 적층체의 소결에 유효. 디바이스 제조기술에 응용하면 성능향상과 장수명화를 기대할 수 있다. 세라믹스 막의 제조결함은 소결에 의한 막과 기판의 수축률 차이가 원인. 일반적으로 막보다도 기판쪽의 수축이 작다. 이 소결기술은 세라믹스의 분말입자를 배치한 기판을 고속 회전시키고, 중력을 기판에 수직방향으로 가한 다음 압축하면서 소결한다. 이로써 분말입자는 막 두께 방향으로 압축되고 기판에 평행인 면(面) 방향은 수축이 감소하고 막과 기판이 접하는 계면 가까이에서 가장 크게 중력이 가해져 수축을 억제하기 때문에 결함이 잘 발생하지 않게 된다. 현재까지 최대 1200℃의 고온에서 8만G의 중력으로 소결할 수 있다. 세라믹스 막의 고품질화로 콘덴서나 반도체 등 각종 부품의 성능향상, 장수명화로 이어진다. 조건에 따라 종래의 30배나 되는 긴 수명도 유지할 수 있다고 한다. (NK)