NEOMAX는 네오딤·철·보론계 자석으로서는 세계 최고수준인 자기에너지 성능을 가진 박막 영구자석을 개발했다. 두께 1마이크로미터로, 성능을 나타내는 최대 자기에너지적(積) (1cc당 자력과 보자력의 곱) 45.8메가가우스를 실현. 마이크로 머신 기술로 제조하는 디바이스의 진일보된 미세화로 이어진다. 전기메이커 등과의 공동개발로 5년 후의 실용화를 목표로 한다. 개발한 것은 막 면에 대해서 수직방향으로 강한 자력을 발생하는 이방성 자석. 지금까지 다른 나라에서는 42.7메가가우스의 박막영구자석의 실현 보고가 있었으나, 이번에 이 성능수치를 뛰어넘었다. 자석은 두께 약 200나노미터의 네오딤·철·보론화합물의 자성막과, 동 약 10나노미터의 중간막을 교대로 겹쳐놓은 구조. 진공 속에 아르곤가스를 넣고, 방전에 의해 금속 등을 비산·증착하는 스팩터링법으로 만들었다. 중간막의 소재에는 금속인 탄타르재를 채용. 이로써 자화방향이 일정하게 되도록 화합물이 결정입자의 방향을 가지런히 하여, 고자력을 얻었다. 또한 막으로 차단함으로써 입자의 조대화(粗大化)를 방지, 보자력을 향상시켰다. 외부자계에 의해 자극반전이 쉽사리 이루어지거나 하지 않게 되어, 디바이스와의 결합에 견딜 수 있는 안정적인 영구자석이 만들어졌다. 유리기판은 물론이고 단결정 실리콘 위에서도 제막가능. 따라서 반도체 프로세스 응용의 마이크로 머신 기술로 만드는 광디바이스나 고주파 회로 스위치, 하드디스크용 자기헤드 등에서의 기술전개를 추진한다. 이번 개발로 두께 10마이크로미터에서 35메가가우스엘스테드 성능의 박막영구자석 기술을 확립했다. 이것은 보다 강한 자력이 요구되는 마이크로모터나 마이크로 액추에이터의 실용화를 뒷받침한다. (NK)