名古屋공업대학의 江川孝志 교수 등은 실내조명이나 태양광 아래에서도 불꽃을 고감도로 검출할 수 있는 자외선센서를 시작했다. 불꽃에서 가장 강하게 나오는 파장 310나노미터 부근의 자외선만을 검지한다. 질화갈륨(GaN)계 반도체를 이용하고 있고, 수명이 길고 내열성도 우수하다. 가정용 가스렌지의 실화검지, 화재검지기 등에 응용할 수 있으리라 보고 있다. GaN계 반도체를 이용한 자외선 센서는 수명이 반영구적이며, 내열온도가 400~500℃로 높다. 이번에 개발한 자외선센서는 고감도이기 때문에 GaN에 알루미늄(Al)을 28%의 비율로 섞은 AlGaN이라는 반도체 층으로 만들었다는 것이 특징. 알루미늄을 섞으면 결함이 발생하기 쉽지만, 독자의 결정성장기술을 활용, 4인치 사이즈의 기판에 균질한 A-GaN층을 제작했다. 센서구조는 사파이어 기판 위에 알루미늄·나이트라이드의 텐플레이트를 깔고, AlGaN층을 성막한 것으로 되어 있다. 지금까지의 실험에서 5센티미터 떨어진 라이터의 불꽃을 검지했다. 앞으로는 검출거리를 넓히는 이외에 대형 기판에 대한 대응을 추진할 것이다. 이 연구는 文部科學省의 지적클러스터 창성사업으로서 日本酸素, 日本가이시와 공동으로 실시했다. (NK)