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감광성 유리의 미세가공기술 개발 100마이크로미터의 구멍·홈을 제작, 바이오·전자부품 수요 전망
  • 편집부
  • 등록 2005-07-03 04:13:07
  • 수정 2010-10-25 15:59:44
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파인테크니카(神奈川縣 相模原市, 사장 仁村治之)는 감광성 유리의 미세가공기술을 확립했다. 100마이크로미터의 구멍이나 홈을 가공할 수 있다. 노광이나 에칭 등의 일련 처리로 다른 미세형상을 동시에 만들 수 있기 때문에 가공비를 절약할 수 있다. 미생물 검사에 사용하는 바이오칩 등의 바이오 관련이나 전자부품 분야 등에서의 수요를 전망한다. 감광성 유리는 유리의 원료에 감광재를 섞어 넣은 유리로 자외선의 노광, 열처리, 에칭, 노광, 결정화와 같은 일련의 처리에 의해 가공하고자 하는 형상을 만들어낼 수 있다. 일반 유리보다 경도(硬度)가 있고, 내열온도는 750℃로 플라스틱보다 열에 강하다. 금속과 비교해도 가공하기 쉽고 부식되지 않는 등의 특징이 있다. 그러나 기온이나 습도 등에 민감하게 반응하기 때문에 취급이 어려워 안정적으로 가공할 수 없다는 약점이 있었다. 따라서 일부 메이커가 생산하고 있을 뿐 미세가공을 한 것은 “거의 존재하지 않았다”(파인테크니카)고 한다. 이번에 감광성 유리의 기본특허를 가진 早稻田 대학 이공학 종합연구센터 객원연구원인 森實敏倫 박사의 지도 아래 미세가공기술을 확립했다. 시작단계에서는 최소 20마이크로미터의 구멍이나 홈 등의 가공에 성공했다. 열처리 시간과 열처리 방법, 작업환경의 온도와 습도 등을 일정조건으로 함으로써 안정적으로 가공할 수 있도록 했다. (NK)

 

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