㈜마이크로포어,광학검사 효율 높인 ´광 투과 세라믹 진공척´ 개발

- 후면광(백라이트) 이용, 광학검사 효율 대폭 향상
- 20여년 기술력 축적 특수세라믹 적용

마이크로포어가 개발한 백라이트 진공척 장치 원리. (자료제공: 마이크로포어)

반도체·디스플레이용 세라믹 소재 전문기업 (주)마이크로포어(대표이사 박재구)가 광 투과 세라믹 진공척을 개발했다. 인쇄회로기판(PCB) 등을 검사할 때 기존 반사광뿐 아니라 빛을 투과하는 ´후면광(백라이트)´을 이용, 광학 검사 효율을 대폭 향상시켰다. 세라믹 소재부터 광투과 진공척 장치까지 ´엔드 투 엔드´ 솔루션을 만든 것은 마이크로포어가 처음이다.
  마이크로포어 백라이트 진공척 장치의 광 투과 효율은 10% 수준이다. 일반 디스플레이 투과 특성(6~7%)보다 뛰어나다. 마이크로포어가 개발한 백라이트 진공척 장치로는 얇고 유연한 PCB 등 검사 대상을 왜곡없이 고정시키고 광학 검사 성능을 높일 수 있다.
  진공척은 공정 과정에서 반도체 웨이퍼나 디스플레이 패널, 플랙서블 PCB 기판 등을 고정할 때 사용한다. 진공척으로 얇은 PCB를 세라믹 판에 붙이고 광학 자동 검사 시스템으로 불량 등을 확인한다. 플랙서블 PCB에서 회로를 연결할 때 이용하는 구멍인 ´비아 홀´이 제대로 뚫렸는지 파악하는 작업이 대표적이다.
  기존 진공척은 반사광만을 이용해 광학 검사를 할 수 있었다. PCB 등을 고정시키는 세라믹이 빛을 통과시킬 수 없었기 때문이다. 광학 검사에 필요한 빛의 양이 적어 검사 효율이 떨어졌다. 가령 실제 불량이지만 양품으로 판정하는 미검출이나 이물질·먼지로 인해 양품을 불량으로 판정하는 과검출이 발생하기도 한다. 과검출 경우 애써 제조한 양품을 자동으로 불량 폐기처리해 생산성을 저하시키는 요인이다.
  마이크로포어는 광학 검사 효율을 높이기 위해 진공척 내 세라믹 판이 빛을 통과할 수 있도록 새로운 소재를 개발했다. 특수 세라믹 소재로 빛이 투과될 수 있는 특수 세라믹을 만들었다. 세라믹 판 후면에 발광다이오드(LED)를 적용, 반사광뿐 아니라 투과광까지 이용해 광학 검사 성능을 개선했다. 충분한 빛을 활용할 수 있어 반투명 필름 형태 PCB에서 패턴이나 비아 홀 뚫림을 정확하게 검출할 수 있다. 20년 이상 다공성 세라믹 소재를 개발하며 기술력을 축적한 성과다. 세라믹 신소재뿐 아니라 PCB 기판을 정밀하게 띄워 세라믹 판에 흡착시키는 ´마이크로 세라믹 부상 유닛´ 등 마이크로포어 독자 기술도 진공척 장비에 적용됐다. 마이크로포어는 백라이트 세라믹 진공척 관련 특허도 출원했다.
  ㈜마이크로포어는 4차 산업혁명의 기저가 되는 부품소재의 국산화를 실현하기 위해 설립된 다공성 세라믹 특화 벤처기업이다. 지난 20여 년 동안 대학 연구실에서 개발해 온 세라믹폼 기술을 바탕으로 반도체/디스플레이 열처리 장비 무분진 단열재, 진공척, 비접촉 부상 유닛, 그리고 가스 정제 및 분진 제거용 집진 세라믹 필터, 통기성 내화갑 및 촉매담체를 제조하고 있다.

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<본 사이트에는 일부 내용이 생략되었습니다. 자세한 내용은 세라믹코리아 2022년 7월호를 참조바랍니다. 정기구독하시면 지난호보기에서 PDF를 다운로드 하실 수 있습니다.>