미쓰이물산 100% 출자 나노테크 연구개발 벤처인 디바이스 나노테크 리서치 인스티튜트(DNRI, 도쿄도 주오쿠 사장 前野拓道)는 최근 본격적인 양산대응 ‘나노인프린팅 고정도 패턴전사장치’를 개발했다고 발표했다. 나노 인프린팅 기술은 종래 반도체제조기술의 1/10 설비투자액으로 가능하기에 이 장치를 사용하여 중소기업이 나노사이즈의 고정도 가공분야에 뛰어들기 쉽게 되었다. 미쓰이물산 나노테크파크(이바라키현 츠쿠바시)내의 DNRI연구소 크린룸 내에 설치하여 성능, 신뢰성 시험을 거쳐 내년도에 상품화를 목표로 하고 있다. DNRI가 산업기술 종합연구소의 前田新太郞와 집적기계연구소 그룹 팀장과의 공동연구를 개발한 이 장치는 나노인프린팅 가공 실용성에 웨이퍼 노광장치로 일반적인 ‘스텝&리피트방식’ 성형기술을 적용했다. 또한 독자 성형헤드를 신개발하여 종래의 몇 분, 몇 십분 걸린 1회 전사시간을 10초 이하로 단축하고 고속 패턴 전사식별을 가능케 하였다. 200mm 각 까지의 대면적기판에 대응도 가능하여, 폭 넓은 다양한 요구에 맞는 장치이다. DNRI는 마케팅에도 주력하여 회사 홈페이지에 기술을 공개하여, 공동개발 파트너 모집, 용도별 장치개발과 실험지원 서비스를 추진한다. 특히 중소기업과의 연대를 추진하여 용도개발과 장치제조 파트너 만들기에 분발하고 있다. (NK)