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촉매인 철 박막 코트한 사파이어 기판위에 단층 카보나노튜브를 화학기상 성장하는데 최초 성공

NEC와 과학기술진흥사업단(JST)은 공동으로 촉매인 철 박막을 코트한 사파이어 기판 위에 단층 카보나노튜브(SWCNT)를 화학기상성장(CVD)하는데 최초로 성공했다. 그 생성량이 사파이어 기판의 결정면에 의한 …

2003-07-05 21:42:17
다성분 산화물의 MOCVD 개발 조성 재현성 비약적상승 FT-IR로 현장관찰

東京공업대학의 舟窪浩 조교수 등 산학공동팀은 강유전체 메모리 등 다성분 산화물 박막의 조성재현성을 비약적으로 높일 수 있는 피드백(귀환)기능이 있는 유기금속기상성장장치(MOCVD)를 개발했다. 프리…

2003-07-05 21:41:41
반도체 제조 장치용 단열재 개발

니치어스는 반도체 제조장치용 단열재를 개발했다. 일반 공업용 단열재에 비해 발생하는 티끌의 양을 3%로 저감했다는 것이 특징. 반도체 제조에서는 웨하의 회로형성 등으로 화학약품과의 반응을 촉진하…

2003-07-05 21:40:03
에스엔티, 수출 비중 확대 주력

반도체와 LCD용 부품 소재 업체인 에스엔티(대표 이재홍 www.snt.co.kr)는 매출 다변화를 위해 수출 비중을 늘릴 계획이다. 이 회사에서는 지난해 전체 매출 130억원중 수출은 23억원으로 18%에 머물렀으나 올해…

2003-07-05 21:07:22
한양대 이철진 교수, 이중벽탄소나노튜브 대량합성기술 개발

한양대 나노공학과 이철진 교수팀은 촉매를 이용한 화학기상 성장법으로 불순물이 거의 없는 고품질 이중벽 탄소나노튜브를 대량 합성하는 기술을 세계 최초로 개발했다고 최근 밝혔다. 현재 탄소나노…

2003-07-05 21:04:53
연세대 염한웅 교수팀, 반도체소자 초정밀측정용 광전자 분광설비 개발

연세대 초미세 표면과학연구센터 염한웅 교수팀은 최근 실리콘 반도체 소자와 관련한 극박막 구성과 화학상태 등을 아주 정밀하게 측정할 수 있는 세계 최고 분해능(분석 정밀도) 수준의 광전자 분광설비…

2003-07-05 21:03:50
한국기계연구원, 10nm급 초경분말 제조기술 개발

반도체 기판 가공용 초정밀 기기제작 등에 활용할 수 있는 나노 크기의 제3세대 초경분말 제조기술이 개발됐다. 한국기계연구원 재료기술연구소의 김병기 박사팀은 2년간 과학기술부 국가지정연구실사업…

2003-07-05 21:02:44
일본 과학기술진흥사업단(JST) 전략적 창조연구추진 사업 2002 신규발족연구영역

편집부(외신) 일본 과학기술진흥사업단(JST)이 전략적 창조연구추진사업으로 채택한 02년도 신규발족연구영역은 다음과 같다. 당쇄(糖鎖)의 생물기능에 관한 해명과 이용기술 ▽당단백질의 품질관…

2003-07-05 00:03:01
일본의 원적외선.음이온의 시장동향

일본의 원적외선·음이온의 시장동향 江川芳信 일본원적외선응용연구회 전무 1. 일본에서의 원적외선 이용의 역사 최근, 일본에서는 원적외선을 이용한 제품개발이 활발하게 이루어지고 있…

2003-07-04 23:26:12
실용원적외선 분야별 관련 일본의 특허정보(49)

처리방법 및 처리장치 東京일렉트론(주) 開03-124017◆H03.05.27 피처리체 위에 처리액을 공급 체재시키고, 피처리체 중심부 및 주변부에서 처리온도가 균일하게 되도록 상대적으로 가온 또는 냉각함으…

2003-07-04 20:42:00

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