神戶대학 대학원 자연과학연구과의 出來成人 교수 등은 액상충전(LPI)법이라고 불리는 새로운 방법으로 각종 금속산화물을 나노미터 오더로 석출시키는데 성공했다. 실리콘으로 미세형상의 틀을 만들고, 수용액 속에서 산화물을 주입, 틀에서 떼어 완성한다. 프로세스가 극히 심플하고 저가이므로 각종 전자재료나 광학재료, 촉매 등에 응용할 수 있으리라 보고 있다. 出來 교수 등은 기상에서의 성막과 에칭 등을 조합시킨 브레이크다운 방법에 대해, 자기형성으로 산화막을 성장시키는 ‘빌트업 방법’으로 위치지우고 있다. 처리용액 속에 기판을 담그고, 상온에서 형성하는 방법이므로 특수한 장치가 필요치 않아 에너지 부하도 적다. 게다가 저가, 단시간에 임의 형상의 나노 구조물을 얻을 수 있다. 지금까지 산화티탄, 5산화 바나듐, 산화 아연, 산화 주석, 산화 탄타르, 산화 니오브, 산화 지르코니아 또 이들의 복합물의 석출을 확인했다. 금속 플오로 착체를 이용하여 보다 안정적인 플오로 착체를 형성하는 물질을 첨가. 몇 시간에서 몇 십 시간을 거쳐, 석출반응과 구동반이라고 불리는 2단계의 반응으로 석출시키는 구조이다. 지금까지 수 백 나노미터 오더의 복잡한 형상에서도 석출이 가능하다는 것을 확인했고, 기판추정성이 높다는 것을 알았다. 양산에 있어서는 초산 셀룰로스 등 레프리카필름을 실리콘 기판 위에 형성함으로써 한층 저가격화할 수 있다고 보고 있다. 出來 교수 등은 수용액 속에서 금속산화물 박막을 형성하는 LPD(액상석출)법의 확인을 끝냈다. LPI법은 이것을 더욱 추진시켜 면적이 크고 복잡한 형상에서도 대응할 수 있게 했다. 구체적인 용도로서는 각종 센서나 광디바이스, 광촉매, 마이크로리액터, 나노디바이스 등이 상정된다. (NK)