전자부품연구원,
나노크기 산화주석 개발
전자부품연구원(원장 김춘호 www.keti.re.kr)은 최근 반도체식 가스센서의 감도를 획기적으로 향상시킬 수 있는 고감도 산화주석(SnO2) 나노분말을 개발했다고 밝혔다. 이 분말은 5㎚ 이하의 초미세 입자이며 아세트산주석염을 주원료로 사용, 300℃ 이하의 저온에서 제조가 가능하다. 기존 염화주석을 사용하는 방식은 염소를 제거하기 위해 680℃ 이상의 열처리 공정을 수 차례 반복해야만 했다. 특히 촉매를 동시에 도핑하는 공정으로 제조돼 생산시간이 기존 방식보다 크게 단축된다고 연구원 측은 설명했다.
홍성제 책임연구원은 “가스센서에 적용한 결과 메탄가스에 대한 감지특성(R3500/R1000) 값이 0.58을 기록, 세계 최고인 일본 피가로센서가 생산하는 제품의 감지특성(0.55)과 비슷하다”고 말했다.
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