세라믹스·금속재료 해외기술정보 첨단 세라믹스 해외기술정보 다이아몬드로 코팅한 SiC히터 개발 千葉공업대학의 坂本幸弘 조교수, 住友大阪시멘트의 공동연구팀은 SiC제 히터에 다이아몬드 막 코팅을 실시, 거의 영구적으로 사용할 수 있는 기술을 개발했다. 이 히터는 반도체 제조 등의 진공장치 내에서 기판의 가열에 사용하는데, 부식성이 높은 불소 등을 포함하는 할로겐계 가스를 사용한 드라이에칭에서는 SiC의 부식이 진행, 수명이 짧았다. 다이아몬드막의 합성법은 마이크로파 플라즈마 CVD법을 사용한다. SiC표면을 다이아몬드 분말을 사용하여 거칠거칠하게 만들고, 메탄, 수소 혼합가스를 10.6㎪로 흘려 보내고, 출력 600W의 마이크로파에서 반응시킨다. 기판 표면을 900℃에서 5, 10, 20시간 반응시켰다. 표면은 입자의 크기 2~3㎛의 다이아몬드 박막으로 덮여 있고, 4불화탄소가스를 흘려 넣은 플라즈마로 내식성 시험을 실시한 후에도 막 외관에 변화는 보이지 않았고, 중량도 줄지 않았다. 다이아몬드막이 없는 SiC나 Al2O3, AIN, YAG로 같은 플라즈마 내식성 시험을 한 결과 모두 표면이 거칠어지고 중량도 감소했다. 또 보통은 다이아몬드막의 최표면만이 탄소에 수소가 결합되어 있는데 다이아몬드 코팅을 실시한 SiC는 4불화탄소가스 반응하면 수소가 불소로 치환되어 더욱 내식성이 증가할 가능성이 있다고 한다. (CJ)