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실리콘상의 강유전체 필름
  • 편집부
  • 등록 2003-07-08 11:41:20
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실리콘상의 강유전체 필름 마이크로 전자공학의 주된 목표는 실용적인 고밀도이고 비휘발성의 메모리를 제조하는 실리콘 기술과 다른 기술들을 강유전체 산화물과 같은 실제적인 재료와 통합하는 것이다. Max-Plank Institute Fur Mikoro struckturphysik (Weinberg, Germany)의 과학자들은 실리콘 기질상에 균일한 a축 방향의 La-doped 비스머스 티타늄 필름을 제조함으로써 이 목표를 진보 시켜왔다. 결정학적 방위를 조절하고 높은 방향성의 얇은 필름을 제조하는 능력은 차세대 강유전체 장비의 개발을 촉진시킬 것이다. (ACB)

 

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