기상성장법으로 수정 박막 형성법 개발
靜岡대학의 高橋直行 교수, 中村高遠 교수와 휴모라볼라토리(東京都 杉竝區, 사장 神力洋一)은 기상성장법에 의한 수정박막의 형성법을 개발했다고 발표했다. 수정은 전자기기의 주파수 제어 등에 사용되고 있다. 현재는 고온, 고압 하에서 단결정을 2, 3개월에 걸쳐 육성. 이 단결정을 절단하여 연마하여 20㎛ 정도로 박막화하고 있다. 단결정 육성에 장기간이 걸리는데다가 연마공정에서는 수정의 90%가 폐기물이 되는 등, 효율이 나빴다.
이번에 개발한 형성법에서는 규산 에틸과 산소를 봉하기 위한 질소가스를 혼합하여 전기로로 보내고, 사파이어 결정 기판 위에 수정박막을 형성했다. 대기 하에서 1시간에 약 10㎛을 형성할 수 있고, 임의의 막 두께를 얻을 수 있다. (CJ)
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