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주조 성형으로 고순도 석영 유리 제조방법 개발
  • 편집부
  • 등록 2003-07-08 15:44:34
  • 수정 2009-07-22 15:52:08
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주조 성형으로 고순도 석영 유리 제조방법 개발 九州대학 종합이공학연구원의 森永健次 원장 등 연구팀은 고순도이며 투명한 석영 유리를 제조하는 방법을 개발했다. 주조 성형과 소결을 조합시킨 방법으로, 종래 방법의 1/10 정도의 에너지면 된다. 치수 정밀도도 0.1%이내의 오차로 억제할 수 있다. 반도체 제조에 영향을 주는 이외에 특수 유리의 제조에도 응용할 수 있을 것 같다. 이 연구팀은 森永원장과 香蘭社 등으로 구성, 通産省의 지역 콘소시엄 연구개발에 채택되어 연구하고 있다. 제조법은 고순도의 석영분말을 용매로 녹이고, 수지 틀에 부어서 성형하여 약 1500℃에서 소결한다. 소결은 한 번으로 끝나며 복잡형상의 것을 제작할 수도 있다. 종래 제조법에서는 2000℃이상의 고온에서 녹일 필요가 있고, 큰 것이나 복잡형상의 것을 성형하기 위해서는 연화시키는 공정을 수회 반복, 고도의 전문기술이 필요했다. 성형용 틀에는 마모가 되지 않도록 고정도를 유지하는 수지 틀을 개발했다. 소결의 치수 오차는 지금까지 도자기에서 2%, 공업용 부품에 사용하는 파인세라믹스에서도 0.5%가 한계라고 알려져 왔다. 香蘭社는 이미 석영유리 제조기를 개발, 비교적 간단한 액정 프로젝터용 반사재부터 양산을 시작한다. (CJ)

 

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