덕성, 초전도 관련 사업 활발 초전도 마그네틱 시스템 이용 반도체용 웨이퍼 제조장비 개발, 관련 특허 2건 출원 93년부터 초전도 사업 시작, 초전도 마그네트 이용한 한국형 MRI 프로젝트 2건 추진중 (주)덕성이 초전도 사업을 활발히 진행하고 있다. ‘8인치 반도체용 웨이퍼 제조장비’를 지난 3월 개발한데 이어 현재 초전도 마그네틱 시스템을 이용한 ‘대구경(12인치) 반도체용 웨이퍼 제조장비’를 개발중이다. 이 회사는 이미 초전도 원리기술관련 2건을 특허출원중이다. 12인치 웨이퍼는 정부의 3개년간 40억 지원으로 내년 7월 완성을 목표로 하고 있다. 12인치 웨이퍼를 만들기 위해서는 초전도기술만이 가능하다. 미국, 독일에서 이미 개발돼 있지만 현재 (주)덕성은 미국, 독일의 특허기술을 피해 독자적인 개발을 진행중이다. 초전도 관련 사업은 (주)CVE, (주)넥상스코리아의 인적지원과 한국전기연구원에 원리기술을 위탁해 진행되고 있다. 합성피혁전문업체인 (주)덕성의 초전도 마그네틱 관련 사업진출은 8년전으로 거슬러 올라간다. 이 회사는 프론티어과제의 일환으로 일반적인 초전도 자석에 관심을 갖고 있었다. 수년전에 MMR(자동물질분석기), 초전도 발전기, MRI(자기공명장치)를 개발했다. 이와같은 초전도 사업에 대해 이 회사 윤종선 차장은 “우리 회사는 합성피혁 제조라인을 직접 제조함에 따라 기계·전기에 관한 노하우를 축적해 지난 93년부터 초전도사업을 시작했다”고 밝혔다. 초전도 사업 부가가치 산업, 높은 수익성 기대 이회사는 초전도 마그네트를 이용한 한국형 MRI관련 프로젝트 2개를 추진하고 있다. ‘12인치 반도체용 웨이퍼 제조장비’ 완성후에는 16인치도 계획하고 있다고 밝혔다. 이외에도 환경장치 등 여러 응용 자기분리장치 상용화가 가능한 초전도 관련 개발을 적극 진행할 계획이다. 초전도 사업에 따른 수익성에 대해 이 회사는 긍정적이라고 밝혔다. 어려운 기술인 만큼 고부가가치이며 시장 선점이 확실할 것이라는 분석이다. 우리나라의 경우 부품소재산업의 일환으로 정부의 적극적인 지원도 큰 장점으로 작용하고 있다고 밝혔다. 이 회사는 국내 제품의 또 다른 장점으로 수리·보수의 편리성을 꼽았다. 외국제품은 고장난 부품을 보내줘야 하지만 국산화될 경우 테스트장비를 장착한 차량이 직접 보수에 나선다고 밝혔다. 朴善姬 기자 그림. 응용기기-단결정 성장 장치 자기장 도가니 실리콘용액 상전도 혹은 초전도 전자석 단결정 산소 가열기 상승방향