집적화 가속도계·자이로에 의한 마이크로 센서 시스템 개발
大日전자(大阪府 吹田市, 사장 杉本日出夫), 姬路공업대학, 大阪산업진흥기구(大阪市 中央區) 연구팀은 집적화 가속도계·자이로(위치·방향결정)에 의한 마이크로 센서 시스템을 개발했다. 실리콘 웨하 상에 자이로와 가속도계가 사방 10밀리미터에 들어오는 극소 센서로, 우주개발사업단(NASDA)의 「우주개발 벤처 대상」을 수상했다. 인공위성의 소형 경량화와 지상에서의 원격정보인식 등에 공헌할 것이다.
NASDA의 01년도 우주개발 벤처·하이테크 개발제도 채택의 15가지 테마 가운데에서 뽑힌 것. 약 반년이라는 단기간에 산학관이 연대하여 연구를 했다는 것이 평가되었다.
개발한 마이크로센서는 반도체 제조 기술을 이용한다. 현재는 이렇게 작은 센서는 없어, 인공위성에 탑재할 수 있게 되면, 위성의 소형 경량화 등 많은 메리트가 있다. 또 지상에서는 응용범위도 넓다. 로봇 이외에사람이 센서를 몸에 부착하고 무선기술과 조합시키면 「넘어졌다」, 「움직이지 않는다」와 같은 정보를 원격지에서 얻을 수 있게 된다.
우주개발 벤처·하이테크 개발제도는 1년간의 프로젝트. 「기간도 짧아 설계, 시작, 평가까지를 단 1회밖에 실시할 수 없어 충분한 연구성과라고는 할 수 없다」(有田滋 大阪산업진흥기구 코디네이터)며, 앞으로의 과제를 남겼다. 따라서 연구팀은 올해에도 이 제도에 응모하여 연구를 계속 이어나갈 생각이다. (NK)
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