기상성장법에 의한 수정박막의 형성법 개발 단시간 낮은 원가로 양산 靜岡대학의 高橋直行 교수, 中村高遠 교수와 휴모래버러토리(東京都 杉　區, 사장 神力洋一)는 기상성장법에 의한 수정박막의 형성법을 개발했다고 발표했다. 단결정 육성에 장기간을 요하고, 연마에 의한 박막화도 고가였던 전자 디바이스용 수정박막의, 단시간, 저가격의 양산법에 길을 연 것이 된다. 5년 후 실용화를 목표로 하고 있다. 수정은 전자기기의 주파수 제어 등에 사용된다. 현재는 고온, 고압 하에서 단결정을 2, 3개월 걸려 육성. 이 단결정을 절단하여 연마로 20마이크로미터 정도로 박막화한다. 단결정 육성에 긴 시간이 걸리는 데다가 연마공정에서는 수정의 90%가 폐기물이 되는 등, 효율이 좋지 못했다. 이번에 개발한 형성법에서는 규산에틸과 산소를 봉하기 위한 질소가스를 혼합하여 전기로로 송출, 사파이어 결정 기판 위에 수정박막을 형성했다. 대기압 하에서 1시간에 약 10마이크로미터를 형성할 수 있어 임의의 박막을 얻을 수 있다. 앞으로는 현재의 제법에 비해 반 이하의 생산 원가를 목표로, 실용화를 위한 개발을 진행할 방침이다.(NK)