15자유도를 갖는 나노 로보틱스 매니퓨레이터 시스템 개발 카본 나노튜브를 가공 구부리기와 뽑아내기 성공 名古屋대학 첨단기술공동연구센터의 福田敏男 교수와 동 대학 공학연구과의 新井史人 조교수 등은, 15자유도를 갖는 나노 로보틱스 매니퓨레이터 시스템을 개발, 동 이스템으로 전자현미경 하에서 카본나노튜브(CNT)를 구부리거나, CNT의 층간 결합구조를 따라 안쪽 부분만을 뽑아내는데 성공했다. 15자유도를 가진 이 시스템은 처음이며, 나노레벨의 가공방법 개발로 이어질 것으로 보고 있다. 福田 교수 등은 이미 미소한 압전 액추에이터를 구동원으로 한 10 자유도의 나노 로보틱스 매니퓨레이터 시스템의 개발을 완료했다. 이번 시스템은 3개의 플로브와 하나의 스테이지로 구성, 3종류의 미소한 압전 액추에이터로 구동하고, 15의 독립된 운동방향의 제어를 실현했다. 이 시스템에 의한 CNT의 가공은 우선 전자빔으로 프로브 끝에 CNT를 전해증착하여 고정시킨다. 그 후, 구부리거나, 뽑아 내거나 한다. CNT는 층간결합구조이므로, 이 구조를 따라 바깥쪽과 안쪽을 어긋나게 하는 형태로, 안쪽 부분을 뽑아낼 수 있게 된다. 그 반복을 직경 15나노미터의 CNT를 뽑아내는데 성공했다. 이러한 뽑아내기 가공은 특정한 사이즈 지름의 CNT 제조로 이어져, 전해(電解)로의 응용이 기대된다. 福田교수는 「나노레벨의 파괴적 제조라고 부른다. 나노레벨의 기능 디바이스 개발에 응용할 수 있다」고 말한다. (NK)