산업기술종합연구소 세라믹스 연구부문의 加藤一美 테라드리퀴드소스 연구팀장 등은 용액으로 박막을 합성하는 화학용액법으로 차세대 강유전체 메모리 재료인 칼슘 비스마스 티타네이트 박막을 개발했다. 이 박막은 실리콘 반도체와 일체화, 메모리화할 때의 한계가 되는 약 650℃의 저온에서 소성이 가능하며 또한 박막면 안과 막후 방향의 미세구조가 균일하여 디바이스 미세화에 대응할 수 있다는 것이 특징. 앞으로 600℃ 이하에서의 소성을 목표로 한다. 개발한 박막재료는 加藤 팀장이 제창하고 있는 테라드리퀴드소스법이 포인트. 이 방법은 화학용액법 가운데에서도 박막 창제 후에 기대하는 기능의 결정구조를 상정하고, 박막 전구체 용액에 그와 유사한 유닛을 만든다는 것이 특징. 이것으로 박막 재료와 실리콘 반도체를 일체화할 때, 계면반응이 일어나지 않는 저온소성이 가능하다. 프로세스는 칼슘, 비스마스, 티탄, 산소를 불활성 가스 분위기 속에서 알콜계 유기용제를 사용하여 순차적으로 반응시켜 박막 전구체 용액에 결정 유사 유닛을 만들어 넣는다. 이때 반응의 온도, 시간도 큰 요소가 된다. 이 용액을 실리콘 반도체 위에 스핀코팅하여 소성한다. 막 두께는 약 100나노미터로 박막면 안과 막후 방향의 구조는 등방성인 주상(柱狀)입자(직경 약 100나노미터)에 의해 균일한 것이 된다. 또 강유전체 박막재료뿐 아니라 압전체 재료로서의 용도도 기대되고 있다. 용액 등 액상원료를 사용하는 화학용액법을 이용한 강유전체 박막재료는 스트론튬 비스마스 탄타레이트가 실용화 단계를 맞이하고 있어, 테일러드 리퀴드 소스법으로도 제작되고 있다. 실리콘 반도체와 일체화하는 소성온도는 약 650℃인데, 박막내면과 박후방향의 구조는 입자의 크기와 형상이 균일하지 않기 때문에 미세화에 있어 결점이 되어 왔다 (NK)