플라즈마 처리장치 및 그 제어방법 日立製作所(주) 開08-88095◆H08.04.02 플라즈마 처리장치의 벽면 및 창을 적외선으로 가열, 제어함으로써 플라즈마 처리특성의 변동을 방지, 가동률의 향상을 꾀한다. 레디스트 조성물 日本제온(주) 開08-44063◆H08.02.16 특정한 중합체와 감방사선성 성분을 합침으로써 감도, 해상도, 내(耐)에칭성이 우수하여 파장이 짧은 원적외선이나 KrF엑시머 레이저광을 이용하는 기소그래피에 적합한 레디스트 재료를 얻는다. 건조장치 日本電氣(주) 開08-122232◆H08.05.17 기판 시료 위의 방울을 건조시킬 때에 불순물 금속이 기판 속에 확산되지 않도록 기판 자체를 가열하는 일 없이 방울을 건조시킨다. 경화장치 三洋電機(주) 開08-139444◆H08.05.31 기판에 장착된 부품의 종류에 대응하여 원적외선용 센서 혹은 열풍용 온도센서 가운데 소망하는 온도센서로 바꿀 수 있는 교환장치를 설비함으로써 열풍방식과 원적외선 방식에 의한 각 가열 시의 온도관리를 최적으로 행할 수 있게 한다. 샤도우 마스크의 제조방법 凸版印刷(주) 開08-138539◆H08.05.31 경막공정 종류 후의 감광성 레디스트의 광학농도를 측정하여 광학농도를 기초로 경막공정에서 처리조건을 조정함으로써 개공(開孔)의 지름이 작은 샤도우 마스크를 얻는다. 기판가열장치 國際電氣(주) 開08-139084◆H08.05.31 처리 전 예열을 실시하는 기판가열장치에서 가열시간의 단축, 균일가열의 촉진, 파티클의 발생억제를 꾀한다.. 액정표시장치의 제조방법 京세라(주) 開08-152640◆H08.06.11 소수성 고분자 재료와 친수성 고분자 재료의 유탁액을 기판 위에 도포한 후에 가열경화하여 래핑함으로써 액정표시장치의 시각특성 향성을 도모한다. 레이저 마킹용 수지조성물 및 그것을 이용한 전자부품 村田製作所(주) 開08-187943◆H08.07.23 내구성이 있는 선명한 표시를 가능케 하는 레이저 마킹용 수지조성물, 및 그것을 이용한 전자부품을 제공한다. 복합 리드프레임의 제조방법 三井하이테크(주) 開08-162595◆H08.06.21 회로기판의 회로패턴에 가열용융접합재를 부착한 리드프레임의 이너리드를 당접시키고, 그 당접부를 폭사열 조사하여 접합함으로써 회로패턴과 다수이 이너리드를 위치 정밀도 높게 동시에 연속해서 접합할 수 있게 한다. 코레이터 大日本印刷(주) 開08-244379◆H08.09.24 제조되는 연속 폼의 품질을 안정시키면서 생산능력을 향상시킨다. 래디스트 패턴 형성방법 三菱레이온(주) 開08-220776◆H08.08.30 금속기재 레디스트와의 밀착성이 양호하여 잠수현상이 없으며 단시간에 또한 원료에 대한 제품의 비율이 높게 형성될 수 있는 레디스트 패턴 형성방법을 제공한다. 대상물(帶狀物)의 평면성 회복방법 및 그 장치 富士寫眞필름(주) 開08-207153◆H08.08.13 물성개량, 칫수 안정성의 향상 등을 목적으로 열처리된 대상물에 발생한 측단부의 신장을 교정하여 대상물의 평면성을 개선할 수 있게 한다. 패턴형성방법 및 레디스트 도포장치 日立製作所(주) 開08-255736◆H08.10.01 레디스트를 도포하기 전에 유기막을 피가공 기판 위에 형성하고, 그 후 자외선 혹은 원적외선을 유기막 위에 조사함으로써 밀집한 미세한 레디스트 패턴이나 아스팩트비(比)가 높은 레디스트 패턴 박리를 방지하여 패턴 형성 불량을 저감시킨다. 액정셀을 향한 액정 주입방법 일본자동차부품종합연구소(주) 開09-5760◆H09.01.10 셀을 복사가열하여 겔상 액정을 유동상태로 하고, 액정셀의 내외압력차에 의해 액정으로 주입함으로써 장치를 대형으로 하지 않고도 다수 개의 셀에 주입할 수 있으며 동시에 액정의 낭비를 저감할 수 있게 한다. 반도체 장치의 제조방법 東芝케미칼(주) 開09-8017◆H09.01.10 반도체 장치의 제조방법에 따르면 웨하 위에 외주부까지 막후가 균일하며 코터탈장 후에도 변동 없는 폴리아미드산 수지막을 형성할 수 있고, 래핑 공정 시의 크랙의 발생이 방지되어 원료에 대한 제품의 비율이 우수한 반도체 장치를 제조한다. 액정 패널의 제조방법 田健太 開09-50035◆H09.02.18 기판에 벽체를 고정도로 형성할 수 있는 액정 패널의 제조방법을 제공하다. 혼성집적회로의 제조방법 三洋電機(주) 開09-97962◆H09.04.08 후막금속기판에 형성하는 도막, 용제와 유기재료가 포함된 인쇄저항의 막질을 개선한다. 옥시무스루호네이트 화합물 및 레디스트용 산발생제 東京應化工業(주) 開09-95479◆H09.04.08 레디스트의 산발생제로서 유용하며, 노광에 사용하는 활성광에 대한 투명성이 높고, 또한 발생하는 산강도가 높은데다가 특히 레디스트 용매에 대한 용해성이 우수한 신규화합물을 얻는다. 자외선 세정장치 島田理化工業(주) 開09-120950◆H09.05.06 기판 위의 유기물 제거를 균일하게 하고, 오존발생 시에 새로운 쓰레기의 부착을 방지하며, 열판과의 접촉에 의한 기판 표면의 오염을 방지하고, 기판 표면의 유기물을 제거하는 스피드를 높여 기판 표면에서 유기물을 제거하는데 걸리는 시간을 단축한다. 플라즈마 CVD장치 山形日本電氣(주) 開09-125252◆H09.05.13 플라즈마 CVD장치에서 웨하를 균일하게 가열할 수 있도록 하고, 웨하와 서셉터와의 컨택트를 양호하게 하여 안정된 플라즈마를 발생시킨다. 혼성집적회로의 제조방법 三洋電機(주) 開09-130005◆H09.05.16 후막금속기판에 형성하는 인쇄저항 페이스트, 특히 용제와 유기재료가 포함된 인쇄저항의 막질을 개선한다. 원자외선용 포지형 레디스트 조성물 소니(주) 開09-185159◆H09.07.15 용해억지제로서 비타민A류의 광소색성 화합물을 사용함으로써 포지레디스트 조성물의 드라이에칭 내성을 유지하면서 해상력의 향상을 꾀한다. 적층 세라믹 전자부품의 제조방법 松下電器産業(주) 開09-223642◆H09.08.26 세라믹 그린시트 표면에 인쇄한 내부전극을 반건조 상태에서 가열, 가압하여 내부전극의 표면을 평평하게 함으로써 내부전극 개개의 두께의 비균일을 해소하여 적층체 그린블록 전체를 균일하게 가압한다. 액정주입장치 시티즌시계(주) 開09-269492◆H09.10.1 액정패널을 진공으로 만든 후, 가열하면서 진공 공기빼기(眞空空引き)를 실시하고 다시 충분히 가열 공기빼기를 함으로서 강유전성 액정이나 반강유전성 액정을 효율적으로 주입하며 동시에 원료에 대한 제품의 비율을 향상시킨다. 화학증폭 포지형 레디스트 재료 信越化學工業(주) 開09-292708◆H09.11.11 각 특정한 고분자 화합물을 염기성 화합물로서 배합함으로써 원적외선 등의 고에너지선에 대해서도 높은 감도 및 고해상도를 갖고, 알칼리 수용액으로 현상하는 패턴형성으로 미세가공기술에 적합하게 한다. 에칭 가공방법 및 에칭가공장치 三井하이테크(주) 開09-316668◆H09.12.09 반도체 장치용 리드프레임 등을 가공하는 에칭가공에서 레디스트 납땜 공정 이후에 가열공정을 설비함으로써 생산성의 저하 및 레디스트 납땜에서 적산 노광량을 증가시키지 않고 레디스트의 밀착성 향상을 꾀한다.