산업기술종합연구소 세라믹 연구 부문 테라토닉키튼 연구팀은 차세대 强誘電體메모리[1T형=용어참조]에 응용가능한 强誘電體 재료 개발에 세계최초로 성공하였다. 신재료로서 [(Y,Yb)MnO3](이트리움 이테리비움 망가네트) 얇은 막을 제작, 기존재료로서는 어려웠던 새나가는 전류를 큰 폭으로 격감, 기억보존에 안정성을 높였다. 고도정보화를 기대할 수 있는 기술로서 기대된다. 1T형 메모리는 트랜지스터와 强誘電體가 일체구조가 되어, 집적도가 높아져 메모리소자의 소형화, 고용량화가 가능. 저구(低駒)전력화도 가능하여 차세대 메모리로서 개발이 진전되고 있다. 이번에 개발한(Y,Yb)MnO3 박막은 ‘테라토닉키튼’라는 용액원료를 사용, (Y,Yb)MnO3를 분극축으로 배향하면서 박막화에 성공한 것이 포인트. 엄밀한 화학조성 제어와 Mn이온의 가수제어가 용이하기 때문에 메모리 기능 발휘에 장애가 되는 박막내의 불순물, 전하를 가지고 움직이는 입자(캐리어) 생성을 억제할 수 있다. 이 박막을 이용 1T형 메모리구조를 만들면 새나가는 전류밀도가 1평방센티 당 10의 마이너스 8승 이하로 격감. 이에 따라 기억보존의 안정성을 나타내는 분극 보존 특성이 10의 5승 이하로 되어, 차세대 메모리 재료로서의 특성을 보인다. (Y,Yb)MnO3는 질콘산 치탄 산연(PZT) 등 기존재료보다 유전율이 10분의 1부터 200분이 되고, 强誘電體 메모리재료로서 적합하다. 이번 개발은 경제산업성의 프로젝트 [차세대 强誘電體메모리] 일환으로 실시하였다. 테라토리키튼법은 같은 그룹의 독자기술로 용액 조성이 그대로 박막의 조성과 일치하는 화학용액상법의 하나. 용어) 차세대 强誘電體메모리=트랜지스터 상의 强誘電體를 일체화한 [1T 형] 타입의 개발이 진전되고 있다. 기억보존의 안정성이 높고 기억의 배출할 때에도 정보가 파괴되지 않고 다시 쓸 필요가 없는 등의 차세대 메모리로서 기대가 높아지고 데이터 보존성능이 높은 재료 개발경쟁이 일고 있다. (NK)