알백(神奈川縣 茅ヶ崎市, 사장 中村久三)은 세계 최고 출력의 고체 그린레이저아닐 장치를 개발했다고 발표했다. 三菱電機가 개발한 세계 최고 출력 200와트(종래는 100와트 이하)의 아닐용 반도체 레이저 여기 전고체 그린레이저 발진기를 장치에 탑재했다. 이로써 종래보다도 고속, 저가에 플래트 패널 디스플레이(FPD)를 제조할 수 있게 된다고 한다. 개발한 것은 저온 폴리실리콘 박막 트랜지스터(TFT)를 사용한 액정 디스플레이나 유기 일렉트롤미네센스(EL) 디스플레이 등 FPD 제조공정의 중핵인 실리콘 다결정에 이용하는 고체 그린레이저아닐 장치. 현재 엑시머레이저 발신기를 제조공정에서 사용하고 있는데, 활성가스의 방전을 이용하고 있기 때문에 레이저 출력이 불안정하며 멘터넌스가 번잡한 등 결점도 많다. 제5세대(1150밀리미터×1300밀리미터)까지의 기판 사이즈 대응에 성공했다. 두 회사는 공동으로 실용화 검증을 실시, 04년 4월부터 발매. 가격은 엑시머레이저 탑재기와 동등한 제5세대기로 9억 엔인데, 멘터넌스 프리이기 때문에 유지비는 반이 된다고 한다. (NK)