국내 세라믹 부품 업체들이 최근 기존 고분자 필름을 사용한 제품을 대체할 세라믹 소재 `정전기 척(Chuck)' 개발에 활발히 나서고 있다. 정전기 척이란 반도체 장비 내에서 정전력을 이용해 웨이퍼와 접촉하지 않고도 웨이퍼를 착탈할 수 있는 소모성 부분품으로, 그동안은 주로 폴리이미드라는 고분자 필름을 이용한 제품을 TELㆍ어플라이드 머티리얼즈 같은 외국 장비업체로부터 수입해 사용해왔다. 세라믹 부품 업체인 에스엔티(대표 이재홍 www. snt.co.kr)는 개발기간 1년을 목표로 이 달부터 세라믹 소재를 이용한 정전기 척 개발에 착수했다고 밝혔다. 이 회사 뿐만 아니라 코미코(대표 전선규 www. komico)와 단단(대표 이강호 www.dandan21.com) 역시 최근 세라믹 정전기 척을 개발했거나 추진중에 있는 등 세라믹 부품업체들이 정전기 척 개발에 잇달아 뛰어들고 있어 수입대체 기대감도 높아지고 있다. 에스엔티는 질화알루미늄(ALN) 소재를 이용해 분사 코팅 기술로 척을 구현할 예정이며, 코미코는 ALN소재를 사용하되 벌크 본딩으로 척을 구현하는 개술을 개발중이다. 단단은 알루미나 분말로 척을 구현하고 있다. 이처럼 세라믹 부품업체들이 정전기 척 개발에 잇달아 나서고 있는 것은 사용이 점차 늘고 있는 300㎜웨이퍼 가공 장비들이 대부분 전압이 높아 고분자 필름을 이용한 기존의 정전기 척의 파손율이 크기 때문. 특히 식각장비에 사용되는 정전기 척의 경우 내구성과 내식성 기준이 대폭 높아지면서 세라믹 소재 정전기 척에 대한 요구가 점점 높아지고 있다.