日立제작소의 기계연구소는 日立금속의 협력을 얻어 메트로계 광네트워크용으로 신형 광로이며 소형, 저손실을 양립한 3차원 미소전자기계 시스템(MEMS)형 광스위치를 개발했다. 네트의 경로교환용 광스위치로 광로를 180도 회절하는 독자 구조로, 종래의 반이라는 소형화와 3데시벨 이하의 저손실을 실현했다. 기간계에 사용되었던 3차원 MEMS 광스위치는 소형, 저가가 필요한 메트로계나 LAN에 적용될 수 있게 된다. 이 MEMS 광스위치는 반도체 미세가공기술로 제작한 2축의 회전 마이크로 미러로 반사광을 3차원 방향으로 바꿀 수 있는 광스위치. 입력포트로부터의 빛을 180도 바꾸어 MEM S의 회전 미러에서 임의의 출력포트에 입사하는 구조로 소형화했다. 이 MEMS 밀러와 화이버 렌즈의 배치를 최적화하여 보다 컴팩트화를 꾀했다. 화이버 16줄로 구성하는 스위치 크기는 80×30×12밀리미터로 용적이 시판품의 절반이라고 한다. 각 입력포트에서 각 출력포트까지의 광로의 길이의 차이가 적어 손실은 평균 1.5데시벨(광 강도 저하가 30%), 최고 3데시벨 이내로 억제, 실용수준을 달성했다. 이 스위치는 16불의 화이버를 8×8×나 2×14 등 임의의 스위치 구성으로 된 프리 커넥트 타입. 입출력 화이버를 팩케이지 단면의 한 곳에 모았기 때문에 팩케이지를 배선판에 직접 납땜할 수 있는 전극 핀 배치로 하는 등, 실장하기 쉽게 연구했다. 경로 교환용 MEMS 광스위치에는 제작이 용이한 2차원 MEMS도 있지만, 이 회사는 광로 길이가 불규칙하지 않아 대규모화도 용이한 3차원 MEMS에 주목. 이번에 독자구조로 더욱 저손실, 소형화를 꾀했다. 이 광스위치는 장해복구나 통신량이 곤란할 때 다른 경로로 바꾸는 스위치. 메트로계에서는 광애드 드롭 분합기에도 적용할 수 있다. 이 회사는 앞으로 신뢰성 확인과 제어부분의 칩화 등을 추진, 전용배선판에 이 스위치까지 포함하여 실장해서 실용화할 계획이다. (CJ)