메사추세츠 대학의 연구진들은 나노기술을 집적회로에 어떻게 사용할 수 있는지 3차원 폴리머 수지를 세라믹 같은 단단한 필름으로 만들기 위해 초임계 유체를 사용하는 방법을 발표했다. 이 기술은 우선, 잘 정돈된 나노 구조로 되어있는 얇은 폴리머 필름을 형성시킨 후에 특수하게 제작된 고압 이산화탄소 가스 속에 있는 리간드 용액을 원하는 부분에 절연체를 증착하기 위해 사용한다. 폴리머 수지를 제거하면, 폴리머 구조를 복사해놓은 것과 같은 형태가 고온과 전자 소자 제작 공정중에 발생하는 스트레스에 견딜 수 있는 견고한 절연체와 함께 남게 된다. Novellus시스템은 이 필름이 반도체 제조 공정에 사용되고 있는 화학적, 기계적 평탄화 공정에 견딜 수 있으며, 재료의 내구성 테스트도 통과했다고 밝혔다. (ACB)