국내 처음 개발, 요업기술원 창보센터내 입주기업간 공동연구로 이루어진 성과, 모범사례 반도체 장비의 핵심부품, 첨단 압전세라믹 제조기술 노하우와 전자회로 기술 융합 전자세라믹과 전자회로 기술이 융합된 Gold wire bonding용 bi-morph 액츄에이터가 세라믹 벤처기업들의 공동연구를 통해 국내 처음으로 개발되었다. 요업기술원 세라믹스창업보육센터에 입주해 있는 벤처기업인 (주)쏘닉테크(대표 조경석 www.sonic tech.co.kr)와 티네스트(대표 송건화 www.tnest.co. kr)는 3개월여 기간의 공동연구개발을 통해 지난 5월 반도체 장비의 핵심부품인 bi-morph 액츄에이터 개발에 성공했다고 밝혔다. 이번 연구개발과 양산, 판매의 성공은 세라믹스창업보육센터내 입주기업간에 이루어진 것으로 앞으로 타 창보센터나 입주기업들간의 공동개발에 모범사례가 될 것으로 평가되고 있다. 이번에 개발된 Gold wire bonding용 bi-morph 액츄에이터는 반도체 장비의 핵심부품으로 그 동안 전량을 수입에 의존해오고 있는 첨단 전자세라믹스 부품이다. 이 제품은 세라믹 파우더를 소결, 가공하여 금속판에 양면으로 접합하여 전압을 가해 일정한 방향으로 힘을 발생하는 것으로, 두께가 1mm도 안되는 경도가 강한 세라믹 제품이 전압을 가하면 떨면서 힘을 발생하게 된다. 반도체 생산공정 중 하나인 Gold wire bonding시 이 힘을 이용하여 Gold wire를 잡아주는 역할을 하는 것이 바로 bi-morph 액츄에이터이다. 쏘닉테크와 티네스트에서 국산화에 성공한 bi-morph 액츄에이터는 응답속도 등에서 기존 외국제품보다 성능이 우수하다고 한다. 특히 나노크기의 세라믹 파우더를 이용하여 기존 제품에 비해 분극처리 시간이 10여시간으로 길지만 이로 인해 bi-morph 액츄에이터가 동작시 발생하는 열 등에 제품이 안정적으로 동작한다고 밝혔다. 또한 핵심기술인 접합기술의 우수성으로 성능과 내구성이 탁월하다고 한다. 두 업체의 관계자들에 따르면 “세라믹 소결기술, 접합기술, 나노입자 제조기술의 노하우가 이번 개발의 핵심이며 이러한 제조기술이 뛰어나지 않고는 만들 수 없는 제품”이라고 밝혔다. 현재 이 제품은 샘플테스트를 거쳐 반도체장비업체에 납품이 이루어지고 있으며 유수의 반도체 제조업체에서도 샘플테스트가 진행중이라고 한다. 한편 bi-morph 액츄에이터는 반도체 장비뿐만 아니라 섬유기계에도 사용이 가능하다고 한다. 이에 따라 이들 업체에서는 현재 일본 제품이 주를 이루고 있는 섬유기계용 bi-morph 액츄에이터도 개발중이라고 밝혔다. 한편 이번 개발에 성공한 (주)쏘닉테크는 압전세라믹 전문기업으로 초음파치료기기, 초음파 미용기기 등을 생산하여 홈쇼핑 등을 통한 내수판매와 일본 등지로의 수출에 주력하고 있는 업체이다. 또한 티네스트는 전자세라믹 전문업체로 가속도, 초음파, 온도 등 각종 센서를 생산하고 있다. 조경석 사장과 송건화 사장은 “이번 공동개발이 창업보육센터내에 입주해 있는 입주기업간의 공동개발과, 관련 연구기관의 적극적인 관심과 지원을 이끌어내는 계기가 되기 바란다”는 기대감을 나타냈다. 朴美善 기자