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이산화티탄의 광촉매 박막 가열하지 않고 형성하는 기술 개발
  • 편집부
  • 등록 2005-03-01 00:29:01
  • 수정 2011-03-24 18:17:32
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물질·재료연구기구는 가열하지 않고서도 이산화티탄의 고품질 광촉매 박막을 만들 수 있는 기술을 개발했다. 촉매의 원료를 증발시키는데 사용하는 장치를 2기(基)로 늘리고, 효율적으로 증착시켜서 박막을 형성한다. 대형 유리나 플라스틱처럼 열에 약한 재료도 광촉매 작용으로 오염을 자정(自淨)할 수 있게 된다고 한다. 이미 특허를 출원했고, 실용화에 착수할 기업을 모집한다. 이 기술을 개발한 것은 이 기구의 龜井雅之 주간연구원. 이산화티탄 광촉매 박막을 형성할 때에는 주로 플라즈마 속에 플러스 이온을 원료로 충돌시켜 원료를 증발시키고, 그 증기를 퇴적시켜서 막을 만드는 ‘스팩터링법’이 사용되지만, 새로운 성막법은 원료를 증발시키기 위한 장치 ‘마그네트론’을 2기 병행하여 사용한다. 유리 등의 기판 위에 이산화티탄으로서는 가장 광촉매 활성이 높은 ‘아나타제 구조’의 결정 박막을 만들 수 있다고 한다. 종래처럼 마그네트론이 1기뿐이면 결정화하기 어렵고, 이것을 보충하기 위해 기판을 수 백 ℃까지 가열해야만 했다. 한편, 유리 등 열에 약한 재료의 경우는 온도를 억제해야만 하므로 막의 품질이 떨어질 수밖에 없었다. 앞으로 실제 대형 유리에 코팅할 수 있는지 검증한 뒤에 기술이전을 시작한다. (NK)

 

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