소디프신소재(대표 하영환)는 최근 반도체·LCD 공정용 세정 가스 삼불화질소(NF3 라인 증설을 최근 마무리했다. 이에 따라 기존 3배인 연산 900톤의 생산력을 확보, 세계 2위 삼불화질소 업체로 발돋움했다. 또 특수가스 제품군 확대를 위해 연산 50톤 규모의 육불화텅스텐(WF6) 라인을 구축해 최근 시험 생산에 들어갔다고 밝혔다. 육불화텅스텐은 웨이퍼의 층과 층 사이 절연막에 신호를 전달해주는 플러그를 만드는 역할을 한다.
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