日立造船(Hitz)은 유기일렉트로 루미네센스(EL)디스플레이 제조장치 내의 증착부인 면(面)증착원에 발광효율을 높이는 유기재료(드팬트재)를 추가할 수 있는 기술을 개발했다. 짧은 수명이 과제인 유기EL의 수명연장 이외에 전력 절약에 도움이 된다. 사방 1미터의 유리기판에 대응 가능. 현재 600밀리×700밀리미터 사이즈의 성능실험을 거쳐 실용화에 돌입했다.
점(点) 증착에서는 재료의 추가가 가능했지만 유리기판을 회전시키지 않고 재료를 증착하는 면 증착의 경우는 처음이라고 한다. 이 회사와 제휴하고 있는 住友商事와 미국 SVT어소시에이트사가 공동개발한 면 증착원(源)을 기초로 개발했다. 장치 하부에 기초재료와 드팬트재가 든 도가니를 각각 설치. 온도관리와 증착면의 균일성을 제어하면서 복수의 노즐로 뿜는다.
유기EL은 액정에 비해 매우 정밀하여 슬림화에 적합하지만 제품수명이 짧다. 각 재료 메이커는 가장 적합한 유기재료 개발의 도상이 있는데, 이 회사에서도 여러 가지 재료에 대응해 나갈 것이다. 유기EL 제조장치에 있어서는 도키가 업계 점유율 최고를 달린다. 유기EL디스플레이 사업 규모가 현재의 10배에 해당하는 5000억 엔에 달할 전망인 07년에는 증착장치만으로 500억 엔 규모가 되리라 보고 있다. (NK)
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