주성엔지니어링이 창립 10주년을 맞아 반도체·액정표시화면(LCD) 전공정 장치 신제품을 선보였다. 이 회사는 세계 최대 면적의 LCD 유리기판(2160×2400)을 처리할 수 있는 ‘LCD용 플라즈마 화학증착 장치’(PECVD)와 생산성이 향상된 ‘원자층증착장치’(ALD)를 선보였다. PECVD는 LCD 양산라인의 핵심장치로 이번에 선보인 신제품은 8세대 LCD 라인을 위한 전공정 장치라고 회사측은 설명했다. 특히 이번 신제품은 유리기판의 대형화에 따라 발생하는 균일도 저하, 증착 속도 저하 등의 문제를 자체의 특허 기술을 통해 개선했고 생산성도 2배 가량 향상시켰다고 강조했다.