산업기술종합연구소는 테라 헬츠 대역의 초고주파 전자파를 발진할 가능성이 있는 소자를 개발했다. 엑스선 대신 비파괴 검사장치 등에 사용할 수 있으리라 보고 있고, 2~3년 후의 제품화를 지향한다. 지금까지 레이저광을 파장 변환하여 테라헬츠 영역을 발하게 하는 장치는 있었으나, 집적화할 수 있는 소형소자로 만든 것은 처음이라고 한다. 産總硏은 테이블 크기의 장치를 손바닥 크기로 만들 수 있다고 한다. 새 소자는 인듐·갈륨·비소 화합물 반도체로 폭 25나노미터, 깊이 10나노미터의 가는 고랑을 제작한 구조. 특성을 조사하는 실험에서 이론상 1테라헬츠 전후를 실온에서 발진할 가능성이 있다는 것을 확인했다. 테라헬츠 영역은 빛과 전파 중간의 전자파로 금속은 통과하지 않지만 플라스틱은 통과하므로 공항이나 공장 등에서의 검사에 응용할 수 있다. 엑스선과 같은 피폭도 적기 때문에 세포나 이의 내부관찰 등의 의료에 대한 응용도 목표에 두고 있다. (일경산업)