퍼스트게이트(埼玉縣 戶田市, 사장 土肥猛)은 한국 SOSUL사 제품의 실리콘웨이퍼 단부 에칭 장치의 판매를 본격화한다. 프라즈마를 사용한 세계 최초의 방식이라고 한다. 약액을 사용하지 않는 드라이한 상태에서 불량의 원인이 되는 웨이퍼 단부의 파티클(쓰레기)를 제거한다. 종래의 웨트 세정에 비해 장치나 공정 수가 대폭 삭감된다. 국내의 반도체 메이커를 중심으로 첫해 3대, 앞으로 5년 간 100대의 판매를 목표한다. 퍼스트게이트는 우선 SOSUL사의 웨하 에칭 장치를 납입처의 제조공정에 맞게 개조하여 판매한다. 2년 후를 목표로, 자사제품을 비롯해 일본산 부품에 순차적으로 교체해 나간다. 이로써 이 장치의 국산화(일본산)를 진행함과 동시에 고기능화시킬 방침이다. 이 장치는 발매한지 1년이 채 되지 않아 삼성전자와 하이닉스 등 한국의 큰 반도체 메이커에 20대 이상 채용되었다. 이미 이 장치를 사용한 반도체 양산이 시작되었으며 신뢰성도 높다. 종래의 웨이퍼 세정은 4장치(7공정)이 필요했는데, 프라즈마 에칭은 1장치면 된다. 도입 원가와 운전비용을 낮출 수 있으며, 공간 절약화와 제조시간 단축을 실현할 수 있다. 또 약액을 사용하지 않는 드라이 방식이기 때문에 약액의 증발에 의한 공기오염의 우려가 없어 설치 장소의 자유도가 높다. 퍼스트게이트는 반도체 제조장치와 그 관련장치의 수출입 판매, 중고장치의 관리와 리퍼비쉬(클리닝과 레스토어에 의한 장치의 재생)을 주로 하는 2000년에 설립된 벤처기업. 04년 2/4분기는 매상고 8억 5천만 엔. 5기째에 접어들어 상사기능을 살리면서 메이커의 색을 강조하는 전략을 취하고 있다. (NK)