岩谷産業은 반도체나 액정의 제조에서 사용한 불소계 가스를 원료인 형석으로 재생할 수 있는 장치를 개발했다. 제조라인에 투입한 불소계 가스의 50%를 재이용할 수 있다. 실험에 따르면 70%의 회수도 가능하다고 한다. 반도체 메이커 등은 형석을 철강 메이커나 가스 메이커에 판매함으로써 순환형 재활용 시스템을 구축할 수 있는 메리트가 있다. 지난 4월부터 실용화했다. 불소계 가스를 포함한 분체에서 불소계 가스를 빼내는 공정과, 분체를 제거하는 공정, 불소계 가스와 칼슘을 반응시켜서 형석(불화 칼슘)을 만드는 공정 등 3단계로 구성, 형석을 모으는 용기를 복수로 준비하여 교환하며 운전함으로써 농도 90% 이상의 형석이 생성되도록 하였다. 불소계 가스는 사용 후, 화학약품과 반응시키는 등의 방법으로 폐기해 왔다. (NK)