大阪市立工業硏究所의 門多丈治 연구원은 목재에서 얻을 수 있는 리그노페놀을 사용한 프린트 배선기판용 포토레지스트 재료(감광성 수지)를 개발했다. 리그노페놀에 저분자량의 노볼랙을 첨가제로 넣은 것으로 시판품에 필적하는 성능을 확인했다. 리그노페놀은 목재의 리그닝 성분에서 뽑은 추출물로 페놀수지와 비슷한 성질이 있다. 포노레지스트 재료로 사용되는 페놀수지의 대체품으로써 이용을 실증한 것으로, 폐목재 등의 공업적 이용으로 이어질 것 같다.
개발한 재료의 구조는 너도밤나무에서 추출한 리그노페놀에 양 끝은 디히드록시벤젠으로 중앙은 크레졸인 ‘rpr’이라고 하는 3핵체 노볼랙을 첨가제로 넣었다. 배합비율에서 rpr을 20% 포함한 재료로 막 두께 약 2마이크로미터의 감광막을 만들고, 감광성능을 조사한 결과, 1평방센티미터 당 20밀리줄의 노광량으로 완전히 용해, 포토레지스트 재료로서의 유효성을 확인했다.
또 염화 제 2철, 물, 짙은 염산으로 조정한 에칭 용액(온도 25℃)를 사용하여 특성을 조사한 결과는 라인 및 스페이스 폭 모두 30마이크로미터 패턴의 에칭상(像)이 얻어져, 내(耐)에칭성도 우수하다는 것을 알았다.
페놀수지를 주성분으로 하는 포토레지스트 재료는 인쇄원판 등에도 사용되고 있다. 원가면이나 품질의 안정화 등의 검토과제는 있지만, “페놀수지 부분을 리그노페놀로 교환함으로써 폐목재 등 식물자원의 유효한 이용으로 이어질 것”(長谷川喜一 연구부(副)주간)이라 한다. (NK)
기사를 사용하실 때는 아래 고유 링크 주소를 출처로 사용해주세요.
https://www.cerazine.net