名古屋대학 공학연구과의 後藤俊夫 교수 등은 片桐엔지니어링(川崎市 幸區, 사장 片桐俊郞), 일본 레이저 전자(名古屋市 熱田區, 사장 米田勝實)와 공동으로 컴팩트한 래디컬 모니터링 장치를 개발했다. 반도체 프로세스 등 플라즈마를 이용하는 프로세스에서 수소, 질소, 산소의 래디컬(용어참조)의 밀도를 측정할 수 있다. 3종류의 래디털을 모니터링하는 장치는 세계 최초라고 한다. 나노테크놀로지를 이용한 제조 프로세스의 강력한 툴이 될 ‘자율형 나노 제조장치’의 개발로 이어지는 성과라고 할 수 있다. 名大의 後藤 교수 등의 기술은 직경 100마이크로미터라는 미소경 영역에 대기압 하에서 생성한 마이크로 플라즈마에 의한 ‘특수광원’의 개발이 포인트. 이 광원에서 각종 래디컬에 특유한 진공자외광을 방사하면 수소, 질소, 산소의 래디컬이 이 영역의 빛을 흡수하므로 흡수된 광원도를 계측, 그 밀도를 구한다. 밀도를 구하기 위해서는 광원의 스팩트럼의 형태를 평가하는 것이 필요한데, 이 교수 등은 이 스팩트럼 분포의 특정에 성공, 진공 자외흡수분광법이라는 방법을 확립했다. 모니터링은 광원 속에 도입하는 미량의 수소, 질소, 산소가스를 바꿀 뿐인 간단한 조작으로 가능하다고 한다. 광원 사이즈는 직경 70밀리미터로 콤팩트하여 각종 진공장치의 표준적인 진공 포트로의 부착이 가능. 또한 9밀리미터의 초소형 사이즈 개발에도 성공, 제조장치의 용기벽에 9밀리미터의 구멍을 대향시켜 준비하는 것만으로 진공에서 대기압까지의 환경에서 래디컬의 모니터링이 가능하다. 이번 성과는 愛知縣 등이 文部科學省의 지적 클러스터 창성사업(시행지역)으로 추진하고 있는 ‘나노테크를 이용한 환경친화적인 물건 만들기 구상’의 일환으로 ‘하이퍼센서를 탑재한 지적제조장치의 개발’로 이루어졌다. (NK) 【용어】래디컬 = 플라즈마 등에서 가스가 분해되어 생기는 활성입자를 말하는 것으로 반도체의 미세가공이나 박막형성에 커다란 역할을 한다, 차세대 반도체나 재료 프로세스에서는 장치 속의 입자를 모니터링, 프로세스의 고정도 제어가 필요. 그 중에서도 수소, 질소, 산소 래디컬의 밀도와 모습을 모니터링하는 것이 중요하다.