코미코(대표 전선규 www.komico.com)가 반도체 장비에 쓰이는 세라믹 소재 정전척(ESC:Electro Static Chuck)을 개발했다. 질화알루미늄 ESC는 기존 폴리이미드(PI)나 산화알루미늄 소재의 ESC에 비해 열전도도가 10배 이상 높고 내식성이 좋아 200mm 이상의 대형 웨이퍼 공정에서도 변형없이 사용 가능하다고 회사측은 설명했다. 이 회사는 현재 국내 주요 반도체 업체에 200 mm 반도체 장비용 제품을 공급하고 있으며 기존 PI 소재제품에서 세라믹 소재제품으로 주력을 교체해 나갈 계획이다. 또 코미코는 300mm 공정용 ESC 제작 장비를 도입, 300mm용 제품 개발에 나서 연말까지 시제품을 내놓을 계획이라고 한다.